Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9120561 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9120561
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1986
Profilometer, 6"
Manuals included
Power supply: 115 V, 60 Hz
1986 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 Wafer Testing and Metrology Ausrüstung ist entworfen, um die höchste Präzision Messergebnisse mit dem effizientesten Durchsatz zu liefern. Dieses System ist hochautomatisiert, zuverlässig und hat eine kurze Lernkurve für den Betrieb, so dass es für jeden Halbleiterherstellungsprozess geeignet ist. Das Gerät ist eine vollständig computergesteuerte Oberflächenprofilüberwachungs- und Dickenmesseinheit, die eine präzise 3D-Oberflächenanalyse und Präzisionsspuranalyse ermöglicht. Es verfügt über einen programmierbaren motorisierten Scankopf sowie einen programmierbaren Controller. Es ist mit einer hochauflösenden CCD-Kamera ausgestattet, die eine direkte optische Messung der Oberfläche des Wafers ermöglicht und eine hervorragende Genauigkeit und Präzision bietet. VEECO DEKTAK 3030 ist in der Lage, Profilmessungen an Wafern bis 200 mm Durchmesser und 2,5 mm Dicke durchzuführen. Es verwendet eine Kombination aus Laserinterferometrie, Kapazitätsabbildung und Gleichstrom-Lichtstreuung, um das Oberflächenprofil, die Topographie und die Profilabweichung von der angegebenen Nennfläche des Wafers genau zu messen. Es kann auch verwendet werden, um Wiederholbarkeitsmessungen an wesentlichen Profilparametern wie Krümmung, Schritthöhe oder anderen zu erhalten. SLOAN DEKTAK 3030 ist gut geeignet für eine Vielzahl von Halbleiterherstellungsprozessen, einschließlich Oxid-, Implantat- oder Diffusionsprozessen. Es ist in der Lage, Oberflächenprofil auf einer Vielzahl von Wafern zu messen, einschließlich Silizium, Galliumarsenid und andere Legierungsmaterialien. Darüber hinaus ist DEKTAK 3030 in der Lage, die 3D-Oberflächentopographie mit einem Nanometer Genauigkeit (1 nm) zu messen und bietet Kontaminationsnachweisgrenzen von 0,01 nm. Neben der außergewöhnlichen Genauigkeit und Präzision der Messmaschine VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 vereinfacht die das Tool begleitende Software den Datenberichtsprozess durch die Integration mit statistischen Analysefunktionen wie Prozesskontrolldiagrammen und durchsuchbaren Ergebnisarchiven. Die Software bietet Ihnen auch die Möglichkeit, auf Messdaten aus der Ferne zuzugreifen, sodass Sie die Ergebnisse problemlos mit anderen Benutzern teilen können. VEECO DEKTAK 3030 ist eine ideale Bereicherung sowohl für Großserien als auch für kleine Forschungs- und Entwicklungslabore. Seine umfassende Funktionalität, exquisite Genauigkeit und benutzerfreundliche Software machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für die Bewertung von Wafertests und messtechnischen Anforderungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor