Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9169275 zu verkaufen
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für die Präzisionsmessung von Wafereigenschaften in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das System umfasst eine integrierte Einheit zur Messung und Inspektion von Oberflächen- und Topographie-Merkmalen. Alle Messvorgänge werden mit höchster Präzision und Genauigkeit durchgeführt. VEECO DEKTAK 3030 verwendet eine einzigartige Kombination aus Laserinterferometrie und Stylustechnologie zur Messung von nominell flachen sowie nicht flachen Wafern. Sein vielseitiges Design ermöglicht eine breite Abdeckung über die gängigen Wafergrößen, die derzeit in der Halbleiterindustrie verwendet werden. Die benutzerdefinierte Scanoption ist auch für nicht typische Wafergeometrien verfügbar. Die einkanalige Datenerfassung der Maschine hat drei Messachsen, zwei für die seitliche Verschiebung und eine für die vertikale Verschiebung. Dies ermöglicht SLOAN DEKTAK 3030 die Bereitstellung einer Submikronauflösung für Wafer-Höhenmessungen, kritische Dimensionsmessungen (CD), Oberflächenrauhigkeitsmapping und 3D-Bildgebung. DEKTAK 3030 hat eine fortschrittliche Software, die die Genauigkeit der Messungen verbessert. Die Software mit einem kontrastreichen grafischen Display sorgt für Genauigkeit und Wiederholbarkeit, indem Benutzer große Datensätze problemlos anzeigen, interpretieren und analysieren können. Es beinhaltet auch fortschrittliche Algorithmen für hochauflösende Autofokus- und Topographiemessungen sowie Funktionszustandsanalyse und Datenanzeige in verschiedenen Graphenformaten. Darüber hinaus unterstützt VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 eine breite Palette von Messtechniken und Protokollen, wie Fliesen, Autofokus, Schrittmodus, Einzelpunkt, Farbmapping, 3D-Bildgebung, sofortige Berichtsgenerierung, Nachbearbeitung und automatisierte Messsequenzkonfiguration. Das Tool bietet auch eine umfangreiche Auswahl an Offline-Analyse- und Berichtsgenerierungsoptionen. VEECO DEKTAK 3030 ist ein äußerst zuverlässiges und robustes Asset, das Anwendern genaue, wiederholbare Ergebnisse und einen unübertroffenen Durchsatz bietet. Mit seinen vielfältigen Eigenschaften und dem flexiblen Design kann SLOAN DEKTAK 3030 in Produktions- und Forschungslabors sowie zur Bewertung fortschrittlicher Prozesstechnologien eingesetzt werden.
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