Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9175618 zu verkaufen
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ID: 9175618
Wafergröße: 6"
Stylus profiler, 6"
Step height measurement range:
Maximum: 100 kÅ
Minimum: 1310 Å
Radius: 12.50 Micron
Controller type: Microprocessor controller
Measuring range: 100Å to 1310kÅ
Scan speed range: Low, medium, high
Vertical resolution:
1Å In the 65kÅ range
10Å In the 655kÅ range
20Å In the 1310kÅ range
Data points per micron: 0.04 - 40
Scan length: 50 microns to 50 mm
Leveling: 2 Point programmable or cursor leveling
Stylus: 12.5 Micron, diamond
Maximum sample thickness: 1.75"
Sample stage diameter: 7"
Sample stage translation:
Manual:
X Axis: 6"
Y Axis: 3"
Zoom range: 35x-200x
Power requirements:
110 / 120 V
50 / 60 HZ
1 Phase
VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System der vierten Generation, das für die Qualitätskontrolle in Halbleiterherstellungsanlagen entwickelt wurde. Das Gerät ist mit einer 3D-berührungslosen Tastsonde ausgestattet, die in der Lage ist, die Größe und Form von Merkmalen auf der Waferoberfläche zu profilieren und gleichzeitig die Höhe oder Tiefe dieser Merkmale zu messen. VEECO DEKTAK 3030 ist mit einer Stufe ausgestattet, die Wafer bis zu 8 "Durchmesser aufnehmen kann, sowie einen schnellen Substrataustausch mit einem doppelten Shuttle-Design. Der berührungslose Stift von SLOAN DEKTAK 3030 kann sich mit einer Genauigkeit von 0,0003 Zoll über die Oberfläche des Wafers bewegen, während er Benutzern die Möglichkeit gibt, alle Konstruktionsmerkmale automatisch zu erkennen, die nicht innerhalb einer vorbestimmten Toleranz liegen. Das Gerät verfügt über eine intuitive menügesteuerte Softwareschnittstelle für einfache Bedienung und schnelle Einrichtung. Die Software unterstützt auch grafische Datenüberlagerungen, um Benutzern eine verbesserte Einsicht in Profildaten zu ermöglichen. Zusätzlich kann DEKTAK 3030 bis zu 1.000 Musterprofile und bis zu 99 Messrezepte für das wafertypspezifische Fehlermanagement speichern. Das Gerät ist mit einer Vielzahl von zusätzlichen Funktionen ausgestattet, wie Vibrationsisolation, um Probentischgeräusche zu reduzieren, mechanische Vorausrichtung mit Papierbandlöchern oder Treuhandlöchern, um den Wafer zu lokalisieren, und ein hocheffizientes Luftlager, um eine reibungsarme Bewegung zu gewährleisten. Mit vorbildlicher Geschwindigkeit und Genauigkeit ist VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 eine zuverlässige, wirtschaftliche und präzise Lösung für spezialisierte Wafertests und Messtechnik.
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