Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9175618 zu verkaufen

ID: 9175618
Wafergröße: 6"
Stylus profiler, 6" Step height measurement range: Maximum: 100 kÅ Minimum: 1310 Å Radius: 12.50 Micron Controller type: Microprocessor controller Measuring range: 100Å to 1310kÅ Scan speed range: Low, medium, high Vertical resolution: 1Å In the 65kÅ range 10Å In the 655kÅ range 20Å In the 1310kÅ range Data points per micron: 0.04 - 40 Scan length: 50 microns to 50 mm Leveling: 2 Point programmable or cursor leveling Stylus: 12.5 Micron, diamond Maximum sample thickness: 1.75" Sample stage diameter: 7" Sample stage translation: Manual: X Axis: 6" Y Axis: 3" Zoom range: 35x-200x Power requirements: 110 / 120 V 50 / 60 HZ 1 Phase
VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System der vierten Generation, das für die Qualitätskontrolle in Halbleiterherstellungsanlagen entwickelt wurde. Das Gerät ist mit einer 3D-berührungslosen Tastsonde ausgestattet, die in der Lage ist, die Größe und Form von Merkmalen auf der Waferoberfläche zu profilieren und gleichzeitig die Höhe oder Tiefe dieser Merkmale zu messen. VEECO DEKTAK 3030 ist mit einer Stufe ausgestattet, die Wafer bis zu 8 "Durchmesser aufnehmen kann, sowie einen schnellen Substrataustausch mit einem doppelten Shuttle-Design. Der berührungslose Stift von SLOAN DEKTAK 3030 kann sich mit einer Genauigkeit von 0,0003 Zoll über die Oberfläche des Wafers bewegen, während er Benutzern die Möglichkeit gibt, alle Konstruktionsmerkmale automatisch zu erkennen, die nicht innerhalb einer vorbestimmten Toleranz liegen. Das Gerät verfügt über eine intuitive menügesteuerte Softwareschnittstelle für einfache Bedienung und schnelle Einrichtung. Die Software unterstützt auch grafische Datenüberlagerungen, um Benutzern eine verbesserte Einsicht in Profildaten zu ermöglichen. Zusätzlich kann DEKTAK 3030 bis zu 1.000 Musterprofile und bis zu 99 Messrezepte für das wafertypspezifische Fehlermanagement speichern. Das Gerät ist mit einer Vielzahl von zusätzlichen Funktionen ausgestattet, wie Vibrationsisolation, um Probentischgeräusche zu reduzieren, mechanische Vorausrichtung mit Papierbandlöchern oder Treuhandlöchern, um den Wafer zu lokalisieren, und ein hocheffizientes Luftlager, um eine reibungsarme Bewegung zu gewährleisten. Mit vorbildlicher Geschwindigkeit und Genauigkeit ist VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 eine zuverlässige, wirtschaftliche und präzise Lösung für spezialisierte Wafertests und Messtechnik.
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