Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9245279 zu verkaufen

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 ist eine automatisierte, präzise Wafer-Prüf- und Messtechnik, die von der VEECO Corporation entwickelt wurde. Die Serie VEECO DEKTAK 3030 bietet genaue Messungen von ultradünnen Filmen, kritischen Abmessungen und mehrschichtigen Strukturen. Mit einer Genauigkeit der Unterangströmauflösung und einem Messbereich von bis zu 30 mm dient die Serie SLOAN DEKTAK 3030 als wertvolles Werkzeug bei der Entwicklung von MEMS (mikro-elektromechanische Systeme) und Nanotechnologie. DEKTAK 3030 besteht aus einem Controller, Antriebssystem, Wafer-Sonde und Bühne. Der Controller ist eine mikroprozessorbasierte Einheit, die eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) für den Zugriff, die Steuerung und die Anzeige von Prozessparametern bereitstellt. Die Antriebsmaschine besteht aus einer Reihe von Linear- und Drehmotoren, die eine präzise Bewegungssteuerung, Stabilität und Wiederholbarkeit bieten. Die Wafer-Sonde verwendet Kapazität und Lasertechnik, um die Oberflächeneigenschaften der Probe im kontaktlosen oder berührungslosen Modus zu überwachen und zu messen. Das Bühnenwerkzeug bietet programmierbare Abtast- und Durchlaufmöglichkeiten mit einer Kombination aus mechanischen, piezoelektrischen und Schwingspulenmotoren. Die Hauptanwendungen der Serie VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 sind die Messung der Oberflächenrauhigkeit, Spannung und Dicke von Wafern sowie die kritische Dimension (CD) der strukturierten Merkmale und die Position mikroelektronischer Komponenten. Das Asset ist hochgenau und bietet eine Wiederholbarkeit von weniger als 0,2 Angström (A) für Rauheit und CD-Messungen und 0,5 A für Tiefenmessung. Die VEECO DEKTAK 3030 Serie bietet eine Vielzahl automatisierter Messtechnik-Tools, um die anspruchsvollen Anforderungen der IC, MEMS und nanoskaligen Geräteauswertung zu erfüllen. Es bietet verschiedene Scanstrategien zur einfachen Ausrichtung und Positionierung der Testmuster. Die Modellarchitektur ist optimiert, um Skalierbarkeit, Genauigkeit und Flexibilität zu erleichtern. Es unterstützt Echtzeit-Datenüberwachung und automatisierten Betrieb mit Datenerfassung. Die erweiterbare Embedded Software ermöglicht eine einfache Programmierbarkeit der Gerätefunktionalität. Das System unterstützt Funktionen wie hochauflösende Bildgebung, Geschwindigkeit und Genauigkeit von Messungen, berührungsloser Modus, berührungslose Kapazitätsmessung und optionale integrierte AFM (Atomic Force Microscopy) und STM (Scanning Tunneling Microscopy). Insgesamt ist die SLOAN DEKTAK 3030 Serie eine fortschrittliche Messtechnik-Einheit, die hohe Genauigkeit und Flexibilität für eine breite Palette von Anwendungen bietet. Durch die Bereitstellung umfassender und zuverlässiger Wafer-Tests und Messtechnik reduziert die Maschine die Entwicklungszeit und -kosten erheblich und gewährleistet ein hohes Maß an Präzision und Wiederholbarkeit.