Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9105734 zu verkaufen

VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Präzisionsanalyse von Halbleiterscheiben. Dieses automatisierte System liefert genaue 3-dimensionale Messungen kritischer Abmessungen auf Halbleiterscheiben während des Herstellungsprozesses. Durch die Verwendung des patentierten hochauflösenden variablen kapazitiven Wandlers kann VEECO DEKTAK 3ST Abmessungen bis zu 1 nm mit einem Standardgenauigkeitsbereich von 2-10 nm messen. Der Wandler ist auch unglaublich flexibel und kann auf einer Vielzahl von Materialien verwendet werden, einschließlich mehrerer Arten von Metallen, Keramiken und dielektrischen Materialien. Je nach Kundenwunsch ist das Gerät sowohl für einseitige als auch für doppelseitige Tests ausgelegt. Es verfügt über eine 10-Zoll-Sonde planaren Portalentwurf mit ± 90 ° Ladewinkel, und sowohl manuelle als auch automatische Bedienung. Die Benutzeroberfläche enthält intuitive, leicht verständliche Grafikanzeigen, Formatierungen, Hilfebildschirme und Funktionen zur Ausrüstungsverwaltung, wodurch SLOAN DEKTAK 3 ST einfach zu erlernen und zu bedienen ist. Der Probenhalter, der durch eine X-Y-Stufe bewegt wird, ermöglicht Flexibilität bei der Positionierung von Proben und verbessert die Benutzererfahrung weiter. Um die Genauigkeit der Messungen zu verbessern, verfügt VEECO DEKTAK 3 ST auch über geringe Resonanz Rauschen, überlegene Vibrationsisolation und Temperaturstabilität. Dies trägt auch dazu bei, Verzerrungen durch unterschiedliche Umweltbedingungen zu reduzieren. Darüber hinaus enthält VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST die Stylus Patrameter-Maschine, die die Spurausrichtung des Werkzeugs misst und Fehler kompensiert. Das Asset erhöht die Genauigkeit mit dem KE- SFA-10 (Small Feature Analysis), das hohe Seitenverhältnisse, Durchgangsbohrungen und andere KEs ab 0,1 μ m messen kann. Schließlich bietet das Modell auch eine SEM-Transferoption, die den Probentransfer von SLOAN DEKTAK 3ST zu einem Rasterelektronenmikroskop (SEM) ermöglicht. Insgesamt ist DEKTAK 3ST eine ideale Wahl für die dreidimensionale Messung kritischer Abmessungen auf einer Vielzahl von Materialien mit einer Genauigkeit von 2-10 Nanometern. Das Gerät verfügt über eine breite Palette von Funktionen, wie das Stylus Patrameter-System, Small Feature Analysis (SFA-10) und die SEM-Transferoption, um den Benutzern maximale Kontrolle über Messungen und Genauigkeit zu geben. Mit einfach zu bedienenden intuitiven Menüs, einer X-Y-Stufe zur Positionierung und ausgezeichneter Vibrationsisolation ist DEKTAK 3 ST eine ideale Test- und Messtechnik-Einheit für alle, die an Präzisions-Halbleiterarbeit beteiligt sind.