Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9157734 zu verkaufen

VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST
ID: 9157734
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Wafer surface profiler, 8" 1999 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST ist eine leistungsfähige Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die modernste Technologien und Techniken verwendet, um fortschrittliche Messtechnik auf einer Vielzahl von Materialien und Substraten bereitzustellen. Das System verfügt über eine hervorragende Leistung über eine breite Palette von Parametern, einschließlich überlegener Genauigkeit und Wiederholbarkeit, und eignet sich gut für eine Vielzahl von Wafertests und messtechnischen Anwendungen. VEECO DEKTAK 3ST besteht aus einer XY-Präzisionspositionierstufe mit einem vertikalen Hubbereich von 3 mm und einem nichtmagnetischen, schrittmotorisch angetriebenen Piezoantrieb sowie einem einachsigen Stiftkraftsensor. Der maßgeschneiderte Aktuator bietet Präzisionshöhenmessung mit einer Genauigkeit von 0,25 µm und hat eine Ansprechzeit von 0,45 ms und eine Mindestschrittgröße von 3 nm. Zusätzlich hat der Kraftsensor eine Empfindlichkeit von 0,1 mN und einen Bereich bis 10 mN. SLOAN DEKTAK 3 ST enthält auch ein integriertes optisches Mikroskop mit einem eingebauten 5x Hellfeld und Dunkelfeld-Bildgebungsfähigkeit. Auf diese Weise können Wafer-Eigenschaften und -Merkmale präzise überprüft werden. Die optische Einheit des Mikroskops bietet hervorragende Kontrast- und Bildklarheit und die integrierte Software bietet eine intuitive Steuerung aller Messungen sowie eine robuste Datenspeicher- und Anzeigefähigkeit. Die berührungslosen messtechnischen Fähigkeiten von SLOAN DEKTAK 3ST ermöglichen die direkte Messung von Widerstand, Schritthöhe und Topographie auf einer breiten Palette von Wafermaterialien. Die Maschine arbeitet im manuellen Modus, in dem die Parameter vom Benutzer definiert werden, oder im automatisierten Modus, in dem das Werkzeug so programmiert ist, dass es nach vorgegebenen Prüfbedingungen misst. Automatisierter Modus nutzt die Regelung des geschlossenen Kreislaufs, um Messungen über eine Vielzahl von Umgebungs- oder Substratbedingungen wiederholbar zu halten. VEECO DEKTAK 3 ST verfügt auch über eine Vielzahl anderer anspruchsvoller Funktionen und Funktionen wie erweiterte Datenverarbeitung, dynamische Mustererkennung und Multimedia-Datenausgabe. Mit diesen Fähigkeiten ist VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, die von der elektrischen, mikromechanischen und optoelektronischen Gerätecharakterisierung bis zur Fehlersuche, Fehlererkennung und Fehleranalyse reichen. Zusammenfassend ist DEKTAK 3 ST eine herausragende Komponente für Wafertests und Messtechnik, die eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit für eine breite Palette verschiedener Materialien und Substrate bietet. Es verfügt über ein modernes optisches Mikroskop, einen robusten Kraftsensor und integrierte messtechnische Fähigkeiten sowie eine anspruchsvolle Datenverarbeitung und Multimediaausgabe. All diese Eigenschaften machen DEKTAK 3ST zu einem idealen Modell für eine Vielzahl von Anwendungen.
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