Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9378636 zu verkaufen
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung ist ein hochpräziser Oberflächenprofiler, der für die Handhabung und Prüfung einer Vielzahl von Wafer-Proben aus verschiedenen Halbleiterprozessen konstruiert wurde. Dieses System verfügt über ein innovatives Design, um die Prüfung verschiedener kristalliner Strukturen zu erleichtern, darunter Silizium, Polysilizium, epitaktische Materialien, Nitride, Oxide und andere Halbleitermaterialien. Das Design beinhaltet einen erweiterten Sensorkopf zur Überwachung und Reaktion auf das Oberflächenprofil eines Wafers, der sich über das Gerät bewegt. VEECO DEKTAK 3ST ist eine gelenkige mechanische Maschine, die eine Aluminium-Rahmen-Gantry umfasst, die die Sensoren, bewegliche Arme, Elektronik und andere Stützelemente aufnimmt. Das Portal wird über einer Quarzwaage positioniert, die auf einem Edelstahlrahmen montiert ist. Der Grundrahmen trägt auch einen Motorantrieb. Dieser Motor ist für die Bewegung des Aluminium-Portals über Gleitschienen über das Quarzbad verantwortlich. Das Kit bietet einen mehrachsigen Controller, mit dem der Benutzer die Position des Portals, die Empfindlichkeit des Sensorkopfes und die Geschwindigkeit des Sensorkopfes einstellen kann, um das Oberflächenprofil verschiedener Arten von Wafern genau zu messen. Das Instrument wird auch mit einer Vielzahl von Softwareanwendungen geliefert, mit denen Benutzer ihre Daten analysieren, das Instrument kalibrieren und Profildaten speichern können. Das Design verfügt zudem über eine leistungsstarke Software-Suite zur automatisierten Datenerfassung und -analyse. Diese Software-Suite ermöglicht es Benutzern, Waferprofile zu speichern und zu vergleichen, dreidimensionale (3D) Modelle zu erstellen, Daten zu analysieren und verschiedene statistische Modelle auf ihre Daten anzuwenden. Das Tool enthält auch ein separates Bedienfeld, mit dem der Benutzer verschiedene Asset-Einstellungen schnell anpassen kann, z. B. die Geschwindigkeit des Scankopfes, die Spitzenerkennungsebene und sogar Zoomfunktionen. Der fortschrittliche Sensorkopf von SLOAN DEKTAK 3 ST ist in der Lage, extrem präzise Messungen einer Vielzahl von Waferoberflächen an mehreren Stellen durchzuführen. Der Sensor verwendet eine Kombination aus optischer und interferometrischer Technologie, um das Oberflächenprofil eines beliebigen Wafers genau zu messen. Das Modell ist in der Lage, eine einzelne Datenplatte mit einer Auflösung von 1 bis 6 Mikrometer zu erfassen. DEKTAK 3 ST bietet auch volle Wafer-Mapping-Fähigkeit, so dass Benutzer jeden Standort innerhalb des Wafers auf Einheitlichkeit und Defekte überprüfen können. DEKTAK 3ST ist ein vielseitiger und hochgenauer Oberflächenprofiler zur Messung einer Vielzahl von Waferoberflächen. Das Instrument verfügt über eine Reihe von Funktionen wie einen erweiterten Sensorkopf, eine automatisierte Datenerfassung und eine leistungsstarke Software-Suite, mit der Benutzer das Oberflächenprofil ihrer zielgerichteten Wafer messen, analysieren und speichern können. Mit diesen Tools können Anwender das Oberflächenprofil ihrer Wafer genau messen und detaillierte, hochauflösende 3D-Modelle ihrer Waferoberflächen erstellen.
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