Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #293639493 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293639493
Surface profiler
6M Stylus
Maximum sample thickness: 50 mm
Maximum sample diameter: 8"
Variable tip force: 0.03-15 mg
4 A Repeatability:
Step: 0.1 µm
Vertical resolution: 0.1 µm
Standard stylus radius: 12.5 µm
Stage diameter: 6"
Scan length: 55 mm
Graphical User Interface (GUI)
PC.
VEECO/SLOAN DEKTAK 6M ist eine fortschrittliche Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um Eigenschaften auf Siliziumwafern genau zu messen und Inspektion, Bildgebung und Analyse einer Vielzahl von Materialien zu ermöglichen. Das System basiert auf einer präzisen Luftlagerplattform und umfasst einen präzisen Feinlaser-Interferometer-Positionsgeber sowie eine automatisierte Sichtausrichteinheit und mehrachsige Vakuumfutter. VEECO DEKTAK 6M ermöglicht präzise x-, y- und z-Achsenverschiebungen und ist in der Lage, präzise Autofokus und extrem präzise Schritt-und-Wiederholung Ausrichtung. Es bietet auch Messdaten mit hoher Genauigkeit für die Vielzahl kleiner 2D-Funktionen, einschließlich Oberflächenhöhe, Ebenheit, Schritt, Linienbreite und Steigungsmessungen. Die Maschine hat die Fähigkeit, die Bedienerfläche zu reduzieren, den Durchsatz und die Genauigkeit der Wafermessungen zu verbessern und den manuellen Kalibrierungsaufwand zu reduzieren. SLOAN DEKTAK 6M bietet hohe Geschwindigkeit und ultrapräzise berührungslose Messtechnik. Es ist für hohe Genauigkeit, Wiederholbarkeit und schnellen Durchsatz mit einer Fähigkeit zur Messung mehrerer Funktionen wie Pad, Linienbreite, Steigung und Schritthöhe konzipiert. Das Werkzeug verwendet eine fokussierte Laserlichtquelle und eine Detektorbaugruppe, um die Abstände zwischen Waferkante und KE-Profil zu messen. Das Asset kann ein einzelnes Feature in verschiedenen Verhältnissen erkennen, selbst in der kleinsten Größe von 3x2,5 Mikrometern, was ideal für genaue Wafertests ist. DEKTAK 6M verfügt auch über mehrere integrierte Funktionen und Funktionen, wie automatisierte Muster und Features-Erkennung, automatische Kalibrierung, automatische Kennzeichnung und Ausrichtung von Platten zu Platten, automatische Höhenverstellung sowie absolute und differenzielle Winkelmessungen. Das Modell verfügt auch über einen erweiterten Bildanpassungsalgorithmus für die Funktion Position und parametrische Analyse für umfassende optische Messtechnik und Inspektionen. Um einen genauen und stabilen Betrieb zu gewährleisten, verfügt VEECO/SLOAN DEKTAK 6M über eine hohe Softwaresteuerung, einschließlich einer erweiterten menügesteuerten Software mit einer umfassenden Datenbank mit Wafermessanweisungen und automatisierten Messungen. Die umfassende Datenbank und die automatisierten Anweisungen stellen sicher, dass das Gerät mit konsistenter Genauigkeit und Wiederholbarkeit arbeitet. VEECO DEKTAK 6M verfügt auch über 3D-Inspektionsmöglichkeiten, die die Analyse von Topographie und Fehlergrößen, Formen und Rauheit ermöglichen. Abschließend ist SLOAN DEKTAK 6M ein fortschrittliches Wafertest- und Messtechniksystem, das für präzise, wiederholbare und hohe Genauigkeitsmessungen entwickelt wurde. Dank der ausgeklügelten menügesteuerten Software, der automatisierten Inspektions- und Registrierungsfunktionen und der automatisierten Wafermessanleitungen ist es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Aufgaben in den Bereichen Wafertests, Bildgebung und Messtechnik.
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