Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #293646046 zu verkaufen
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VEECO/SLOAN DEKTAK 6M ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie zur Messung von Dünnschichtschichten auf Halbleitersubstraten verwendet wird. Dieses System wird verwendet, um präzise und genaue Messungen von Dünnschichtschichten von Materialien wie Metallen, Oxiden, Silizium und Dielektrika zu erstellen. Die Einheit besteht aus einer motorisierten Stufe, einem leitfähigen Waferträger, einer laserbasierten Lichtprojektionsmaschine und einem kapazitätsbasierten Messwerkzeug. Die motorisierte Stufe dient zur präzisen Positionierung eines Wafers zur Messung. Die Geschwindigkeit der Stufe ist einstellbar, um verschiedene Arten von Substraten passen, was es ideal für mehrere Anwendungen in der Halbleiterindustrie macht. Der Waferträger dient zum sicheren Halten des Wafers für Messungen, und die laserbasierte Lichtprojektion dient zur genauen Messung von Dünnschichtschichten. Das Lichtprojektionsmodell besteht aus einem Laser- und einem positionsempfindlichen Detektor (PSD) -Array, das präzise Messungen von Abständen, Formen und Kantengeometrien ermöglicht. Zum Gerät gehört auch ein Kapazitätsmesser, mit dem Dünnschichtschichten bis zu 15 Nanometer gemessen werden. Das Kapazitätsmessgerät verwendet ein Paar Elektrodenplatten, um Kapazitätsänderungen aufgrund von Unterschieden in der Breite von Dünnschichtschichten auf der zu prüfenden Probe zu erfassen. Darüber hinaus ist das System mit einer integrierten Software-Suite ausgestattet, die Echtzeit-Graphing, Reporting und Datenanalyse der Messergebnisse ermöglicht. VEECO DEKTAK 6M ist so konzipiert, dass es rauen Bedingungen standhält und präzise Messergebnisse liefert, auch in Hochdruck- und Hochtemperaturumgebungen. Darüber hinaus kann das Gerät bis zu 12 Prozessschritte in einer einzigen Maschine bewältigen und ist damit eine ideale Lösung für die Herstellung von großvolumigen Halbleitern. Darüber hinaus kann das Werkzeug Wafersubstrate mit Linsen bis 125 mm Durchmesser messen. Insgesamt ist SLOAN DEKTAK 6M eine leistungsfähige Wafertest- und messtechnische Komponente, die Dünnschichtschichten schnell und präzise messen kann und somit eine ideale Lösung für die Halbleiterherstellung darstellt. Seine Präzision, Genauigkeit und Vielseitigkeit machen es zu einem wertvollen Werkzeug in der Branche und ermöglicht es Herstellern, die qualitativ hochwertigsten Produkte auf dem Markt zu liefern.
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