Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #9034870 zu verkaufen
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ID: 9034870
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2006
Surface profiler, up to 6"
Includes:
Step height repeatability
Low-inertia
Low-noise sensor (LIS 3)
High horizontal and vertical resolution
Uses a 12.5 micron diamond stylus
(2) Stylus tips
Reference thickness gauge
Vibration table
Programmable stylus (down to 1 mg)
Z-Height capability (up to 1 mm)
Up to 30,000 data points per scan
Windows software interface
Specifications:
Performance:
Sample stage diameter: 150 mm (6 in.)
Scan length range: 50 μm to 30 mm
X-Y stage translation: 20 mm x 80 mm
Theta sample positioning: 360°
Vertical data resolution: 1Å max. (@ 65 KÅ range)
Vertical range: 262 μm max. (1 mm optional)
Step height repeatability: 10 Å, 1σ
Data points per scan: 30,000 max.
Sample viewing: 2.6 mm FOV (2.6 mm to 0.5 mm FOV zoom option)
Stylus tip radius: 12.5 μm (std.)
Stylus force range: 1 mg to 15 mg (programmable adjustment)
Stylus sensor: LIS 3 (low-inertia sensor)
Stylus replacement: Quick-Change tool (std.)
System configuration:
Microprocessor: Intel Pentium III (monitor optional)
User interface: Microsoft Windows 98
Interface method: mouse/keyboard
Network card: enables exporting/printing data via local network
Power requirements: 115/220 VAC, 50/60 Hz, 5 A
Optional features:
Printer: color inkjet printer
Stress measurement: calculates tensile/compressive thin-film stress on wafers
Optional Styli: <1 μm to 25 μm radius tips (high-aspect-ratio tips & super-sharp 50 nm
radius tips also available)
Calibration standards: 200 Å to 10 μm step height standards (NIST traceable)
Vibration isolation table: isolates scan head from external noise
Zoom optics: 5 mm to 1 mm FOV
Ceramic vacuum chuck: for small samples
Extended range: increases vertical range to 1 mm
Step detection software: for calculating multiple step measurements
Monitor: 15-inch SVGA monitor or 15-inch flat panel w/stand
Environmental enclosure: Plexiglas shield protects scan head from dust
Standard analytical software:
Roughness parameters: Ra, Rq, Rp, Rv, Rt, Rz, max. Ra, max. dev., skew
Waviness parameters: Wa, Wq, WP, WV, Wt, max. dev.
Step height parameters: avg. step ht., avg. ht., max. peak, max. valley, max. ht.,
peak to valley, high spot count, peak count
Geometry parameters: area, slope, volume, radius, perimeter, bearing ratio
Programmable cutoff filter: conforms to ANSI B46.1
2006 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK 6M ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Bewertung der Dicke und Höhe von Wafern, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet werden, sowie für andere Anwendungen. VEECO DEKTAK 6M ist ein automatisiertes, berührungsloses Drehmotor-Messsystem, das bis zu 1.400mm pro Sekunde mit einer Wiederholbarkeit von 0,5 μ m scannen kann. Es ist mit einem hochempfindlichen Kapazitätssensor ausgestattet, der auch kleinste Merkmale auf der Waferoberfläche messen kann. Das Gerät verwendet einen Schritt und wiederholt sich mit konstanter Geschwindigkeit, so dass der Benutzer einen Wafer schnell scannen kann, um komplizierte Funktionen zu analysieren. SLOAN DEKTAK 6M ist auch mit einer automatischen Tuning-Maschine ausgestattet, die eine zuverlässige Datenerfassung und -verarbeitung gewährleistet. Mit dem Werkzeug können sowohl die Höhe als auch die Dicke von Wafern gleichzeitig gemessen werden. DEKTAK 6M verwendet einen zweiarmigen Verriegelungsmechanismus, um sicherzustellen, dass der Wafer während des gesamten Messvorgangs auf der Bühne bleibt und das Gut nahezu jede Art von Material mit hohen Geschwindigkeiten verarbeiten kann. Darüber hinaus unterstützt VEECO/SLOAN DEKTAK 6M bis zu acht benutzerdefinierte Programme, mit denen das Messverfahren und die Parameter wie Geschwindigkeit, Mittelung und Einstellzeit angepasst werden können. VEECO DEKTAK 6M ist auch mit einer robusten Benutzeroberfläche ausgestattet, mit der Forscher das Modell an ihre individuellen Bedürfnisse anpassen können. Die Schnittstelle umfasst die automatische Kalibrierung, die Graphenausgabe und die 1D- oder 2D-Aufzeichnung der Messdaten. Es enthält auch mehrere Datenanalyseprogramme, wie die Fähigkeit, mehrere Scans zu vergleichen, und die Fähigkeit, die Daten mit statistischer Prozesskontrollsoftware zu analysieren. Insgesamt ist SLOAN DEKTAK 6M eine elegante und zuverlässige Wafer-Prüf- und Messtechnik, ideal für jede Forschung oder Produktion, wo mikroskopische Messungen erforderlich sind. Das automatisierte und berührungslose System führt zu genauen, wiederholbaren und zuverlässigen Messungen mit minimalem Bedienbetrieb.
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