Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #9105277 zu verkaufen

VEECO/SLOAN DEKTAK 6M ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Messung von Oberflächen und dünnen Schichten auf Halbleiterscheiben. Dieses System bietet eine Kombination aus Rastertunnelmikroskopie (STM) und Atomkraftmikroskopie (AFM) -Technologie zur tiefen Oberflächencharakterisierung von Halbleiterscheiben. Es ist in der Lage, dreidimensionale topographische Karten von Waferoberflächen mit Nanometerauflösung zu erzeugen. VEECO DEKTAK 6M Einheit ist hauptsächlich für die Prozesssteuerung in der Halbleiterproduktion konzipiert. Die Maschine kann zur genauen Messung und Überwachung der Halbleiterschichtdicke während des Produktionsprozesses eingesetzt werden. Dies ermöglicht die Analyse kritischer Prozesskontrollschritte und stellt sicher, dass die Produktqualität den Kundenanforderungen entspricht. Das Tool ist auch ideal für die Erstellung von Qualitätsmessgrößen und Dokumentationsstandards im Produktionsprozess. SLOAN DEKTAK 6M Asset ist auch in der Lage, Waferparameter wie Schritthöhe, Ebenheit und Topographie zu überwachen. Sein Messbereich umfasst eine Vielzahl von Halbleiterparametern, einschließlich Butyllithographie, Legierungsdicke, elektrischer Widerstand und Zwischenschichtdielektrikum. Die durch das Modell gewonnenen Messdaten können zur Auswertung der Gleichmäßigkeit und Prozesssteuerung der Halbleiterschichten herangezogen werden. DEKTAK 6M ist mit einer Vielzahl von Funktionen integriert, die eine genaue und zuverlässige Datenerfassung und -analyse gewährleisten. Es beinhaltet eine motorisierte Präzisionsstufe, die eine präzise Bewegung und Positionierung der Waferoberfläche ermöglicht. Das System ist zudem in eine programmierbare Teach-In-Unterrichtseinheit integriert, die einen effizienten Betrieb ermöglicht und die frequenzbasierte Datenerfassung für die Oberflächenanalyse automatisiert. Zur berührungslosen Datenerfassung verfügt die Maschine außerdem über ein Halbleitermodul mit einem Emissionsarray und einem Laserabtastwerkzeug. VEECO/SLOAN DEKTAK 6M Asset ist mit einer Reihe von Softwareanwendungen kompatibel, einschließlich VEECO WaferPro Software, die leistungsstarke Datenverwaltungs- und Analysetools bietet. Diese Software ist für einfache Datenmanipulation konzipiert und kann 2D- oder 3D-Plots von STM- oder AFM-Daten erstellen. Darüber hinaus bietet es verschiedene Visualisierungswerkzeuge wie Querschnitts- und Statistikplotting zur Tiefenanalyse. Um maximale Leistung zu gewährleisten, verfügt das Modell über eine Umweltüberwachungseinrichtung, die die Temperatur und Feuchtigkeit in der Testumgebung reguliert. Dies gewährleistet stabile Messungen während des gesamten Prozesses. VEECO DEKTAK 6M ist eine integrierte messtechnische Lösung für Wafertests und Messtechnik in der Halbleiterproduktion. Es bietet eine Kombination aus Rastertunnelmikroskopie und Atomkraftmikroskopie-Technologie zur genauen Oberflächencharakterisierung von Halbleiterscheiben. Darüber hinaus bietet es zuverlässige und robuste Funktionen wie präzise motorisierte Stufen, programmierbares Teach-In-Lehrsystem und eine umfassende Software-Suite für effizientes Datenmanagement und -analyse.