Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 8 #9234670 zu verkaufen

VEECO/SLOAN DEKTAK 8 ist ein automatisiertes Wafer-Prüf- und Messtechnikinstrument zur Messung der kritischen Parameter von Halbleiterscheiben wie Dicke, Ebenheit, Bogen/Kette, Oberflächenrauhigkeit und Fehlerdichte. Es verfügt über ein integriertes dual optisches Kopfdesign, eine Präzisionsgeberausrüstung mit dual variabler Geschwindigkeit und einen CompactHandler II für automatisiertes Wafer-Handling, Positionierung und Scannen. VEECO DEKTAK 8 bietet hohe Genauigkeit und wiederholbare Messungen dank eines innovativen Kantenerkennungs- und Signalrückgabealgorithmus, der sich an die sich ändernden Wafereigenschaften anpasst. Das System verfügt auch über automatisierte referenzpunktbasierte Wafer-Scans, die benutzerdefinierte Scanbereiche über den Referenzpunkt ermöglichen. Für die Planheits-/Kettmessung verwendet SLOAN DEKTAK 8 einen hochmodernen zweidimensionalen Laserverschiebungssensor, der in der Lage ist, sehr geringe Dickenänderungen von Wafern zu messen. Es hat auch die Fähigkeit, eine High-End-Stufe für Stabilität und Wiederholbarkeit zu verwenden, so dass extrem präzise Messungen. DEKTAK 8 ist auch mit einer motorisierten Stufe ausgestattet, um die Waferoberfläche innerhalb des optischen Kopfes für Messungen der Oberflächenrauhigkeit zu bewegen. Die Einheit ist in der Lage, Oberflächenmängel auf Submikronniveau zu erkennen, zu messen und zu analysieren. Zur Fehlerinspektion verfügt VEECO/SLOAN DEKTAK 8 über eine hochauflösende CCD-Kamera in Verbindung mit einer computergesteuerten Autofokus-Schnittstelle, die eine automatisierte Bildgebung, Fehlererkennung, Analyse und genaue Höhenbestimmung ermöglicht. Die Maschine verfügt auch über automatische Fehlerklassifizierung und Fehlerdatenbankabfragefunktionen. Darüber hinaus ist VEECO DEKTAK 8 für den Reinraumgebrauch konzipiert und verwendet speziell entwickelte Umweltkammern, um die Partikelerzeugung zu reduzieren und maximalen Schutz vor Verunreinigungen zu bieten. Das Tool enthält auch eine pneumatische Anlage, um eine dynamische Atmosphäre während des Testprozesses aufrechtzuerhalten. SLOAN DEKTAK 8 bietet eine umfangreiche Palette von Softwareanwendungen, sowohl zur Steuerung des Modells als auch zur Datenanalyse. Diese Anwendungen umfassen automatische Kalibrierung, Datenprotokollierung, Wafer-Mapping, Fehlererkennung und Reporting und vieles mehr. Das Gerät bietet auch eine große Auswahl an benutzerdefinierten Parametern, mit denen jeder Test an die spezifischen Anforderungen des Geräts angepasst werden kann. Insgesamt ist DEKTAK 8 eine äußerst anspruchsvolle High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik, die höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit für Halbleiter-Wafer-Messungen bietet. Die integrierte Hardware, fortschrittliche Software und der überlegene Umweltschutz machen VEECO/SLOAN DEKTAK 8 zur perfekten Wahl für die moderne Halbleiterherstellung.