Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 8 #9244494 zu verkaufen

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ID: 9244494
Advanced Development Profiler (ADP).
VEECO/SLOAN DEKTAK 8 ist eine hochpräzise Wafer-Prüf- und Messtechnik, die eine überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Bestimmung und Charakterisierung der Wafer-Geometrie bietet. Dieses System ermöglicht eine präzise Messung einer Vielzahl von Waferparametern, wie Oberflächentopographie, Schritthöhe, Widerstand, Dotierung, Verschmutzung und thermisch/mechanische Eigenschaften. VEECO DEKTAK 8 ist eine variable Kraft-Sondeneinheit, die eine Multi-Sensor-Kristallkraftsensorspitze verwendet, die auf einer zweiachsigen kippbaren Plattform montiert ist. Es kann sowohl den Steigungs- und Rollwinkel der Probenoberfläche als auch eine Z-Höhenmessung messen und ist mit einem High-End-PC und einer Datenerfassungssoftware ausgestattet, um Datenerfassung und -analyse zu ermöglichen. Die Maschine enthält eine optische Zeichenerkennung, die leicht Textabdrücke auf dem Wafer verarbeiten kann, um die Bestimmung der Quelle und Orientierung der Probe zu unterstützen. SLOAN DEKTAK 8 bietet fortschrittliche 3D-Bildgebungstechnologie für präzise Oberflächenprofilierung. Es verfügt über eine 2D-Höhenprofil-Auflösung von 5.2nm und eine 5.0mV Auflösung für Widerstandsmessungen. Das Werkzeug kann Abmessungen so groß wie 200mm messen und hat eine Arbeitsfläche von 100x45mm. Ein Luftlager ist im Lieferumfang enthalten, das eine überlegene Geräusch- und Vibrationsreduzierung ermöglicht. Sie ist für den Langzeitbetrieb mit einer hochtemperaturkeramischen Isolationsschicht zwischen Führung und Tastkopf ausgelegt. DEKTAK 8 ist robust und zuverlässig konzipiert, mit einer Langzeitgenauigkeit von 0,15 nm und Wiederholbarkeit bis 0,05 nm. Es bietet überlegene Leistung und Funktionen, die es ideal für erweiterte Wafer-Tests und Charakterisierung machen.
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