Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK I #9018953 zu verkaufen

VEECO / SLOAN DEKTAK bin ich eine Oblatenprüfung und für eine breite Reihe der Halbleiterprozesssteuerungsbedürfnisse entworfene Metrologieausrüstung. Das System ist mit einem präzise geprüften Messmechanismus ausgestattet, der in einem Temperaturbereich von -35 bis 350 ° C betrieben werden kann. VEECO DEKTAK I Wafer Prüfgeräte hat einen Arbeitstisch mit zwei Griffen, zwei verstellbare Vakuumlaschen und zwei Stufenhöhenwähler. Die Vakuumlaschen ermöglichen den direkten Kontakt und die Manipulation von Probenscheiben. Die Konfiguration der Vakuumlaschen kann problemlos nach Bedarf eingestellt werden, was eine Vielzahl von Wafern unterschiedlicher Höhe und Größe ermöglicht. SLOAN DEKTAK I bietet eine vollständige Palette von optischen Wafer-Oberflächenkarten mit einer Neigungs- und Ebenen-Messung von bis zu ± 5,0 ° und einer 1-nm-Schrittauflösung. Dies ermöglicht die Erfassung von Oberflächenbildern höchster Genauigkeit mit hoher Auflösung für eine optimale Prozesssteuerung. DEKTAK I verfügt auch über eine integrierte Automatisierungsschnittstelle, die die Möglichkeit bietet, sich mit Surface Metrology Instruments wie einem Scratch Pen, XY Scanner und Videomikroskop zu integrieren. Der Scratch Pen kann beispielsweise zur Oberflächenerkennung und -charakterisierung verwendet werden, während das Video Microscope zur Mikrodefektinspektion eingesetzt werden kann. Das Gerät enthält einen hochpräzisen Probenhalter mit geringer Kontaktkraft, der entworfen ist, um die thermische Homogenität der Maschine zu maximieren und gleichzeitig Probenschutz zu bieten. VEECO/SLOAN DEKTAK I enthält auch eine einzigartige Fokus-Spitze, die die Einstellung des Fokus der Waferoberflächenkarte ermöglicht. VEECO DEKTAK I Wafer Testing and Metrology Tool ist auch mit einem proprietären Software-Paket zur Steuerung aller Operationen des Assets ausgestattet, wie Indexierung und Skalierung, Programmierung und Test, Fehleranalyse und Reporting, sowie die Erstellung und Verwaltung statistischer Daten. Abschließend ist SLOAN DEKTAK I ein hochpräzises und zuverlässiges Modell für Wafertests und Messtechnik, das eine Vielzahl von Funktionen bietet, um höchste Präzision und Genauigkeit zwischen verschiedenen Bereichen von Halbleiterprozessen zu gewährleisten.