Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK II #78838 zu verkaufen
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VEECO/SLOAN DEKTAK II ist eine erstklassige Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Halbleiterindustrie. Es ist ein hochmodernes Hochleistungswerkzeug zur Charakterisierung und Prozessoptimierung von Halbleiterbauelementen. VEECO DEKTAK II verwendet ein einzigartiges optisches topographisches und mechanisches Ablenkmesssystem, das Submikroprofile auf Wafern und anderen Substraten erstellt. SLOAN DEKTAK II verfügt über eine integrierte Softwareeinheit, mit der Anwender Oberflächenrauhigkeiten, Oberflächenhöhen und andere Wafer/Substratparameter schnell und genau messen können. DEKTAK II verwendet ein geringer Ankermasse, linearmotorisches Profilwerkzeug und eine robuste, flüssigkeitsgekühlte Stufe mit integriertem Interferometer. Mit dieser Maschine wird die Bewegung des Ankers selbst optimiert und das Werkzeug kann einheitenlose Präzisionsmessungen mit einer Genauigkeit von 0,0001 "(2,5 Mikrometer) erfassen. Diese Leistung eignet sich für alle Halbleiterbearbeitungsflächen, einschließlich Dielektrika, Metalle, Polysilizium und Metalle-auf-Dielektrika. Das integrierte SCAP-Softwarepaket (Scan Control, Analysis and Path Planner) ermöglicht eine detaillierte Scanpfadplanung mit mehreren Plottypen und statistischer Berichterstattung und s part Zeit und Geld. SCAP kann zur Integration automatisierter Test- und Messroutinen verwendet werden. Die Software unterstützt auch die Möglichkeit, mehrere Substrate in einer Sitzung mit den bereitgestellten Probenhaltern zu profilieren. Darüber hinaus verwendet VEECO/SLOAN DEKTAK II eine mehrfache bildgebende Lichtquelle mit einer Vollbild-Digitalkamera mit hoher Auflösung. Dieses Abbildungsmodell wird verwendet, um einen visuellen Schnappschuss des gesamten Substrats bereitzustellen. Mit einer diffusen Projektion des Substrats können Anwender nicht nur schnell die Substrateigenschaften ermitteln, sondern auch etwaige Ungleichmäßigkeiten oder Defekte erkennen. VEECO DEKTAK II wurde entwickelt, um benutzerfreundlich mit einer voll ausgestatteten grafischen Benutzeroberfläche zu sein. Seine hochpräzisen Messfähigkeiten und bildgebenden Geräte machen es zu einem perfekten Werkzeug zur Optimierung kritischer Prozesse in der Halbleiterherstellung. VEECO aktualisiert ihr Produkt weiterhin mit technologisch fortschrittlichen Funktionen wie der integrierten HPHT-Fähigkeit (High-Pressure/High-Temperature), sodass Wafer unter extremen Bedingungen verarbeitet werden können. Mit seiner Präzision, Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit ist SLOAN DEKTAK II das ideale System für die Entwicklung und Optimierung wichtiger Halbleiterherstellungsprozesse.
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