Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK II #9061099 zu verkaufen

VEECO/SLOAN DEKTAK II ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es verwendet automatisierte Scan- oder hochauflösende Bildgebungstechniken, um die Merkmale eines Halbleiterwafers zu messen, einschließlich physikalischer Merkmale wie Linienbreiten, Firsthöhen und Ätztiefe. Das System ist in der Lage, die Oberflächentopographie eines Wafers mit 2-dimensionaler Profildatenerfassung automatisch zu messen. Es kann auch die oberflächenphysikalischen Eigenschaften wie Oberflächenrauhigkeit, Reflexion und Haftung messen. Das Gerät verwendet eine Kombination aus optischen und elektrischen Sonden, um elektrische Parameter von Wafern wie Widerstand, Kapazität und Stromaustritt zu messen. Ein Stiftprofilometer wird verwendet, um die Position von Beulen, Graten und Tälern zu erkennen. Der Stift kann Merkmale und Höhen von bis zu fünf Mikrometern mit einer Auflösung von 0,1 Mikrometern messen. Es ist mit einem Kontaktkraftmikroskop ausgestattet, mit einer Fähigkeit zur Messung von Merkmalen bis zu 0,1 Nanometer. Die Maschine kann auch Ebenheit, Planheit und Ungleichmäßigkeit der Waferoberfläche messen. Es verwendet eine CCD-Kamera zusammen mit einem modifizierten astigmatischen Strahlprofil-Detektor, um die Waferoberfläche abzubilden, um andere Parameter wie Formabweichungswinkel, Schritthöhe und Steigungsgenauigkeit zu messen. Die CCD-Kamera wird mit hochgenauen Sensoren kalibriert und überwacht. Das Werkzeug bietet auch die Möglichkeit, verschiedene Produktionsprozesse zu testen, indem die Auswirkungen von Ätz-, Abscheide-, Reinigungs-, Polier- und Dotierungstechniken gemessen werden. Es bietet auch die Möglichkeit, Tests bei hohen Temperaturen (bis zu 250C) und in einer Vakuumumgebung durchzuführen. Der Benutzer kann aus einer Vielzahl von Linienstilen auswählen, von geraden Linien und Kreisen bis hin zu beliebigen Mustern. VEECO DEKTAK II ist auch in der Lage, automatisiertes Be- und Entladen von Wafern durchzuführen. Es ist mit einem Wafer-Handling-Asset ausgestattet, das zur Reduzierung potenzieller Kontaminationen konzipiert ist, und einem Robotik-Handling-Modell für automatisiertes Be- und Entladen von Wafern. Darüber hinaus bietet das Gerät High-End-Leistung mit Hochgeschwindigkeits-PPG, ESD, Kurzzeit-Analyse und nominalen Testfunktionen. SLOAN DEKTAK II wafer testing and metrology system ist ein Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Attributen wie Oberflächentopographie, elektrische Parameter, Oberflächenrauhigkeit, Reflexion und Haftung zu messen. Es bietet auch fortschrittliche Werkzeuge wie Kontaktkraftmikroskopie, CCD-Kamerakalibrierung und automatisiertes Be- und Entladen von Wafern für eine zuverlässige und genaue Oberflächenanalyse und Messtechnik.