Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9018954 zu verkaufen

VEECO/SLOAN DEKTAK IIA ist eine führende Wafer-Prüf- und Metrologie-Ausrüstung, die anspruchsvolle messtechnische Fähigkeiten bietet, um aussagekräftige Daten für die Charakterisierung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente bereitzustellen. Das System besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer Waferstufe, einer Autofokuseinheit, einem optischen Mikroskop und einer Autostage. VEECO DEKTAK IIA verfügt über eine Waferstufe, die bis zu acht Wafer aufnehmen kann und bis zu zehn Freiheitsgrade für die Ausrichtung und Positionierung von Wafern bietet. Die Bühne kann die Wafer in zwei kartesischen Parallelen, vier Neigungsachsen, zwei Drehungen und zwei Grad der Oberflächenverfolgung bewegen. Die Bühne kann auch sowohl 300 mm als auch 200 mm Wafer aufnehmen. Die Fokusautomatik hält die Wafer während des gesamten Testprozesses innerhalb von 1 μ m optimaler Fokussierung. Der Autostage ermöglicht eine präzise Platzierung von Wafern, wodurch eine Wiederholbarkeit erreicht wird, die konsistente Ergebnisse ermöglicht. Das Werkzeug ist mit einem Hochgeschwindigkeits-optischen Mikroskop ausgestattet, das präzise Messungen von Merkmalen bis zu 50 nm ermöglicht. SLOAN DEKTAK IIA misst Widerstand, Topographie, kritische Abmessungen (CDs) & Overlay-Ebenen, Gerätestrukturen und andere Geräteparameter. Es ist mit Abstand das flexibelste Asset, das VEECO bietet, und bietet eine robuste Steuerung und präzise Ergebnisse in einer Vielzahl von Umgebungen. Darüber hinaus verfügt das Modell über mehrere Software-Tools, die die Benutzerproduktivität verbessern. Die Geräte ermöglichen eine schnelle und genaue Datenerfassung und Analyse fortschrittlicher Prozessschritte. Es ermöglicht quantitative Bewertungen, die die Überwachung der Waferausbeute, die Identifizierung wiederholbarer Geräteflächen und die Bereitstellung wertvoller Rückmeldungen zur Prozessentwicklung ermöglichen. Darüber hinaus ist DEKTAK IIA mit ebeam und Röntgeninspektionswerkzeugen kompatibel, so dass Hersteller verschiedene Strukturen auf dem Wafer präzise messen können. Zusammenfassend ist VEECO/SLOAN DEKTAK IIA ein vielseitiges Wafer-Test- und Messtechniksystem, das ausgereifte Fähigkeiten bietet, um entscheidende Daten für die Charakterisierung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente bereitzustellen. Das Gerät ist mit einem Hochgeschwindigkeits-optischen Mikroskop ausgestattet, das Messungen von Merkmalen mit einer Auflösung von 50 nm ermöglicht. Es liefert schnelle und präzise Datenerfassung und Analyse einer Vielzahl von Geräteparametern. Darüber hinaus verbessern die einzigartigen Software-Tools die Benutzerproduktivität und ermöglichen quantitative Bewertungen, die zur Überwachung der Wafererträge und damit zur Steigerung der Gewinne verwendet werden können.