Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9061410 zu verkaufen

VEECO/SLOAN DEKTAK IIA ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für die höchste Genauigkeit der Messtechnik von Halbleitermaterialien ausgelegt ist. Es bietet maximale Messgenauigkeit für die Messung der Critical Dimension (CD), Overlay Alignment, Profiltiefe, messtechnischen Eigenschaften und Oberflächenprofilierung von dielektrischen und Metallschichten. Das System kann CD von 1,5 nm bis 0,5 µm messen. VEECO DEKTAK IIA verfügt über eine große Traversing-Plattform, die ein 13 „x 6“ Sichtfeld und einen sehr langen Z-Achsen-Bereich zum Scannen und Beurteilen des Wafers bietet. Es ist mit hochauflösenden piezokontrollierten Stufen ausgestattet, die maximale Genauigkeit und Wiederholbarkeit bieten. Das Gerät ist mit Hellfeld- und Dunkelfeld-Bilderfassungssystemen, einer negativen Lichtabschirmungsfunktion und mehreren Lasern zur gezielten Messung ausgestattet. Die Maschine bietet eine Temperaturregelung der Waferstufen, um die Genauigkeit während der Messung zu gewährleisten. Sein fortschrittlicher Steuerungsansatz verwendet intelligente Algorithmen, die eine präzise Waferausrichtung und Geradlinigkeitsprüfung ermöglichen. Es verfügt auch über eine integrierte Reihe von Sensoren und Reglern, die zur Minimierung der Kopfverschmutzung beitragen. SLOAN DEKTAK IIA bietet einen hohen Durchsatz, kurze Zykluszeiten und Genauigkeit in einer Vielzahl von Architekturen und Anwendungen. Es verfügt über ein digitales Datenfilter und Liefertool, um die Messdaten zu verarbeiten und zu sammeln. Das Asset ermöglicht auch eine automatisierte Datenrückverfolgbarkeit, um die Daten für die Post-Process-Analyse zu verfolgen. DEKTAK IIA bietet mit seinen proprietären Bilderkennungsalgorithmen eine hervorragende Ausrichtgenauigkeit des Waferwerkzeugs. Das Modell bietet eine in der Branche einzigartige Kalibrierungsmethode. Es verfügt auch über eine umfassende Reihe von Software-Tools, einschließlich statistischer Geräte, Mustererkennung, Bildgebung und Datenanalyse Fähigkeiten und eine Reihe von automatisierten Tests, die wiederholbare Messungen ermöglichen. Insgesamt ist VEECO/SLOAN DEKTAK IIA eine ideale Lösung für die Prüfung und Messtechnik von Halbleitern. Seine hochpräzisen Messfähigkeiten, fortschrittliche Algorithmen und Automatisierung sowie eine umfassende Suite von Softwarewerkzeugen machen es zu einer zuverlässigen und leistungsstarken Messtechnik, die den Anforderungen moderner Halbleiterhersteller gerecht wird.