Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK IID #9160091 zu verkaufen

VEECO / SLOAN DEKTAK IID
ID: 9160091
Profilometer Three scan speeds Tracking force: 10 to 50 mg Measurement range: 50A to 655KA  Vertical resolution (max): 5A  Scan length range: 50um to 30mm  Sample thickness (max): 20mm  Horizontal data points (max): 1000  Horizontal resolution: 0.05um  Stylus force: From 10 to 50mg manual adjustment  Video camera optics for sample viewing: 90x Sample stage diameter: 127mm  Sample stage x axis: +/- 10mm  Sample stage y axis: +/- 10mm to -70mm  Sample stage theta rotation: 360 Sample stage positioning: Manual  Analytical functions: 4 115 V, 50/60 Hz.
VEECO/SLOAN DEKTAK IID ist eine fortschrittliche Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine schnelle und genaue Analyse von Halbleiterwafermaterialien ermöglicht. Das System besteht aus vier Hauptkomponenten - einem Rasterelektronenmikroskop (SEM), einem integrierten Profilometer, einem Partikel/Metall-Detektor und einem optischen Mikroskop. Das integrierte Profilometer misst die Geometrie eines Wafers bis zur dreidimensionalen Genauigkeit bei vertikaler Verschiebung und Neigung. Der Scanner bewegt den Wafer entlang der X- und Y-Achse, während er Topographieinformationen sammelt. Es kann Merkmale bis zu 0,1 μ m mit einer Auflösung von 0,25 μ m messen. Der Teilchen/Metall-Detektor ist ein hochempfindlicher Detektor, der Spurenmetallelemente und Partikel auf der Oberfläche des Wafers identifiziert und lokalisiert und eine frühzeitige Fehlererkennung ermöglicht. Das optische Mikroskop ist ein modifiziertes digitales Mikroskop, das bis zu 1600x vergrößern und mit SEM-Bildern überlagern kann, um Fehler genau zu identifizieren. VEECO DEKTAK IID bietet auch eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche (GUI). Die GUI ermöglicht es Benutzern, das Gerät schnell und intuitiv einzurichten, so dass es für Benutzer aller Ebenen einfach zu bedienen ist. Die Maschine umfasst einen umfassenden Satz von Analysewerkzeugen, mit denen Anwender Oberflächenrauhigkeiten, Fotokopie-Analysen, Schritthöhenmessungen und andere Tests durchführen können. Für maximale Betriebszeit und maximalen Durchsatz wurde SLOAN DEKTAK IID entwickelt, um das automatische Laden und Entladen von Wafern mit mehreren Sampleholder-Konfigurationen zu unterstützen. Die Probenhalter sind für einfaches Einsetzen, Entfernen und Austauschen ausgelegt. Das Tool enthält außerdem eine automatische Prozesskorrektur, die ihre Parameter dynamisch anpasst, um die Genauigkeit bei der Prozessoptimierung zu erhöhen. Abschließend ist DEKTAK IID ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiemodell, das eine schnelle und genaue Analyse von Halbleiterwafermaterialien ermöglicht. Es verfügt über einen hochempfindlichen Partikel- und Metalldetektor zur frühzeitigen Erkennung von Defekten, eine benutzerfreundliche GUI, umfassende Analysewerkzeuge, eine automatische Prozesskorrekturausrüstung und automatische Wafer-Be- und Entladeunterstützung. Mit seinen robusten Eigenschaften und der einfachen Bedienung ist VEECO/SLOAN DEKTAK IID eine ideale Wahl für Halbleiterscheibentests und Messtechnik.
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