Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK SXM #9361063 zu verkaufen

VEECO/SLOAN DEKTAK SXM ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die im Halbleiterherstellungsprozess eingesetzt wird. Dieses System ist ideal für berührungslose Oberflächenmessungen von Halbleiterscheiben bis 300 mm Größe und 10 mm Dicke. Die Einheit wurde entwickelt, um kritische Merkmale wie Widerstand, Schichtdicke und andere Materialeigenschaften sowie Oberflächentopographie-Merkmale wie Tiefe und Radius zu messen. VEECO DEKTAK SXM ist ein Rastersondenmikroskop (SPM), das statische oder dynamische Topographien auf der Oberfläche des Wafers messen kann. Die statischen Scans dienen zur Visualisierung der Oberfläche des Wafers und zur kontaktlosen Messung. Die dynamischen Scans liefern ein dreidimensionales (3D) topographisches Bild der Oberfläche. Dies ermöglicht eine Analyse der Stufenschichten der Oberfläche des Wafers. Die SXM-Maschine misst mehrere Parameter wie Oberflächenstruktur, Schritthöhe, Liniengeometrie, Oberflächenrauhigkeit und Filmdicke. Es ist in der Lage, Eigenschaften bis zu 300 Nanometer in der Größe zu messen. Das Werkzeug kann auch Flächenebenheit und andere 2D- und 3D-KEs messen. Das Gerät ist mit einem Motor mit variabler Drehzahl ausgestattet, mit dem die Sonde die Oberfläche mit präziser Steuerung scannen kann. Die Kraft wird zwischen der Sonde und der Waferoberfläche eingestellt, um die Auflösung der Messung zu optimieren. Um die Genauigkeit der Messungen zu maximieren, umfasst das Modell eine automatisierte elektrostatische Kalibriereinrichtung, die die Sondenhöhe automatisch anpasst. Das SXM-System ist für schnelle, zuverlässige und genaue Messungen berührungsloser Oberflächenmerkmale ausgelegt. Das Gerät ist in der Lage, mehrere Proben gleichzeitig zu messen und kann sowohl ebene als auch gekrümmte Oberflächen messen. Es ist auch mit einer Vielzahl von Softwarepaketen für die Datenverarbeitung, Bildverbesserung und Analyse ausgestattet. Die Maschine ist benutzerfreundlich konzipiert und für eine Vielzahl von Produktionsanwendungen geeignet.