Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK V-200 Si #139116 zu verkaufen
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ID: 139116
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Stylus Profiler, 8"
Range: 0.3-30mg stylus force
XY Travel: 8" x 8"
Rotation: 360º
Remote controlled video camera
Zoom range: 60x-420x
Vertical range: 25A - 2620A
Vertical resolution: 1A at 65KA, 10A at 655KA, 40A at 2620KA
Scan length: 50 microns to 200 mm
Automatic stage leveling
Maximum sample thickness: 45mm
Printer: Ominprint 426
Power: 120V, 5.5 amps, 50/60Hz
2001 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK V-200 Si ist eine multifunktionale Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Das System überbrückt die Lücke zwischen manuellen Messungen und hochautomatisierten Prüf- und Messsystemen. Die einzigartige Kombination aus schnellem Scannen, hoher Genauigkeit und geringen Betriebskosten des V-200 ermöglicht schnelle und genaue Messungen kritischer Parameter von Wafern mit minimalem Aufwand. Das V-200 ermöglicht es Anwendern, schnell und einfach umfassende Mess- und Analyseinformationen zu erhalten. Ein benutzerfreundliches Radmenü bietet einfachen Zugriff auf alle Gerätefunktionen. Die Maschine ist in der Lage, die Topographie des Wafers zu messen, einschließlich Haftung, Hohlräume, Oberflächenebene und Defekte. Zusätzlich kann das Werkzeug physikalische Eigenschaften wie Dicke, Oberflächenstruktur, elektrische Eigenschaften und optische Eigenschaften messen. Darüber hinaus ist die V-200 in der Lage, Stress in Siliziumstrukturen zu analysieren sowie Oxid-, Nitrid- und Silikatmaterialien zu analysieren. Die Anlage ist ohne Kompromisse bei der Genauigkeit oder Präzision ausgelegt. Die Genauigkeit des V-200 wird durch seine eingebauten Funktionen wie die temperaturgesteuerte Stufe, die Kollimatoroptik, das Autofokusmodell und die motorisierte z-Achsen-Stufe aufrechterhalten. Darüber hinaus verfügt die Ausrüstung über die klassische berührungslose Scanfähigkeit des klassischen Dektak-Messsystems und die Fähigkeit, jede Art von Probe einschließlich semiempirischer und kustimisierter Rezepte zu lesen. Die V-200 bietet auch fortschrittlichere Funktionen wie Autofokus und Autokollimation für die Autofokussierung komplexer Masken und Proben. Das Gerät umfasst fortschrittliche Filterverarbeitungstechnologien, die nahtlose Messungen mit reduziertem Rauschen erzeugen. Bilddarstellungsfunktionen ermöglichen es Benutzern, interessante Bereiche schnell und genau zu überprüfen. Ein Hochgeschwindigkeits-Controller erleichtert die schnelle Datenerfassung von Wafern bei bis zu 2000 Punkten pro Sekunde und einem breiten Messbereichsbereich von 1 mm bis 120 mm. Abschließend ist VEECO V200-SI eine multifunktionale Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine mit fortschrittlichen Funktionen und einer Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Die Genauigkeit und Geschwindigkeit des Werkzeugs gewährleistet konstant genaue Ergebnisse, so dass es eine ideale Wahl, wenn Tests, Messtechnik und Datenanalysen erforderlich sind.
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