Gebraucht VEECO V200-Si #9254651 zu verkaufen
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ID: 9254651
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1997
Profilometer, 6"
2D Measurement
Substrate, up to 8"
Probe force range: 0.3-30 mg
Programmable table, 8"
With X, Y: 8" x 8"
Rotation: 360°
Manuals and spare parts included
Camera:
Remote controlled video camera
Zoom lens: 60x - 420x
Scan length: 50 µm to 200 mm
Stage leveling: Automatic
Maximum sample thickness: 45 mm
PC Without storage media
Operating system: Microsoft Windows 3.1
Processor: Pentium core, 8.0 MB RAM
Vertical range: 25 A - 2620 A
Vertical resolution:
1 A / 65 kA
10 A / 655 kA
40 A / 2,620 kA
1997 vintage.
VEECO V200-Si ist ein Wafer-Prüf- und Metrologie-Instrument, das sich ideal für die Überwachung der Eigenschaften von Halbleitern während des Herstellungsprozesses eignet. Es wurde entwickelt, um sowohl Front- als auch Rückseite-Wafer mit einer Größe von bis zu 200mm zu handhaben. Das Gerät liefert die Genauigkeit, die notwendig ist, um Dotierstoffkonzentrationen und Schichtdicken in einem Dünnschichtabscheidungsprozess genau zu messen. Das System verfügt über eine Vielzahl von Detektionstechnologien zur Erfassung von Daten auf der Waferoberfläche, einschließlich Atomkraftmikroskopie (AFM), elektrische Kapazitätsmessungen (ECM) und Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS). Mit der AFM-Option können VEECO V 200SI Oberflächentopographieinformationen sowie detaillierte Bilder von Oberflächenmerkmalen erfassen. Die ECM- und AALEN-Systeme werden mit dem AFM kombiniert, um einen umfassenden Satz von Messungen bereitzustellen, die die Analyse von Wafereigenschaften bis hin zur Auflösung auf Nanometerebene ermöglichen. V200 SI umfasst auch Analyse- und Messtechnik-Software, die den Datenanalyseprozess vereinfacht. Mit dieser Software können Anwender die Eigenschaften dünner Filme schnell und genau messen und charakterisieren. Die Software kann auch verwendet werden, um eine Vielzahl von zwei- und dreidimensionalen Diagrammen zur grafischen Darstellung von Prozessdaten und zur Verfolgung der Waferleistung im Laufe der Zeit zu erzeugen. Das Gerät ist mit einer Reihe von Musterhandhabungssystemen kompatibel, wodurch es einfach ist, DEKTAK V-200 SI in eine Produktionslinie zu integrieren. Das Instrument ist auch mit Sicherheitsverriegelungen und automatischen Kalibrierfunktionen ausgestattet, um einen ordnungsgemäßen Betrieb und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus kann VEECO DEKTAK V-200 SI aus der Ferne betrieben werden, so dass Benutzer Einstellungen und Parameter schnell anpassen können, ohne im Labor sein zu müssen. Zusammenfassend ist VEECO V- 200 SI eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die Dotierstoffkonzentrationen, Schichtdicken und Oberflächentopographien genau messen kann. Es wurde entwickelt, um zuverlässige Daten für Halbleiterherstellungsprozesse bereitzustellen, und seine Sicherheitsmerkmale, Kompatibilität mit Musterbehandlungssystemen und Fernbedienungsfunktionen machen es zum idealen Werkzeug für Wafertests und Messtechnik.
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