Gebraucht VIEW ENGINEERING / GENERAL SCANNING Benchmark 450 #9180602 zu verkaufen

ID: 9180602
Weinlese: 2010
3D Measuring machine 2010 vintage.
VIEW ENGINEERING/GENERAL SCANNING Benchmark 450 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für den Einsatz in Halbleiter-Wafer-Herstellungsprozessen entwickelt wurde. Dieses System bietet eine einzigartige Reihe von Merkmalen, die es für Prozesscharakterisierung, Rampenratenbestimmung und Fehlercharakterisierung geeignet machen. VIEW ENGINEERING Benchmark 450 Rasterelektronenmikroskop (SEM) ist eine automatisierte Einheit, die die neuesten in der Hochleistungs-Elektronenoptik und neue Muster-Staging-Technologien kombiniert. Auf diese Weise können Anwender die Eigenschaften von Submikron-Merkmalen effektiv messen und kritische Abmessungen, Dotierstoffverteilungen, Linienkanten und Ätzprofile verfolgen. Die Maschine bietet eine breite Palette von analytischen Fähigkeiten, die von einfachen 2D-Oberflächenmessungen bis hin zu komplexen Bildanalysen und elektrischen Charakterisierungen reichen. Das Werkzeug ist mit einem integrierten X-Y-Antrieb und einer motorisierten Stufe ausgestattet. Mit diesem Setup können Benutzer sowohl Makroscans als auch Submikron-Messungen durchführen. Der variable Fokusstrahl ermöglicht eine hochauflösende Abbildung von Merkmalsgrößen bis zu 0,25 µm. Die Anlage ist auch mit einem Hochspannungsnetzteil ausgestattet, wodurch sie in der Lage ist, schadensarme Funktionen zu erkennen und zu analysieren. GENERAL SCANNING Benchmark 450 Modell verfügt auch über erweiterte Automatisierungs- und Bildgebungssoftware. Die SSV-Software (Sample Equipment Viewer) ermöglicht es Benutzern, die Automatisierung einfach zu programmieren, Bildgebungsparameter anzupassen und bis zu 100 Bilder pro Probe zu erfassen. Die Software bietet auch Echtzeit-Analyse und Berichterstattung von messtechnischen Daten ermöglicht es Benutzern, Prozess-Ungleichförmigkeiten schnell zu identifizieren. Die Optik des Systems wurde speziell für den kontinuierlichen Elektronenstrahlbetrieb entwickelt und bietet eine hervorragende Auflösung und Wiederholbarkeit. Zusätzlich ist eine Reihe von Detektoren vorgesehen, mit denen das Gerät die Eigenschaften von Einzel- und Mehrkristallproben messen kann. Mit diesen Detektoren können Benutzer schnell die Eigenschaften von Merkmalen wie Dotierstoffverteilungen, Linienkanten und Ätzprofilen messen. Benchmark 450 ist eine kostengünstige Wafer-Test- und Messtechnik-Maschine, die Anwendern eine effiziente und umfassende Reihe von Funktionen bietet. Dieses Tool eignet sich für die Charakterisierung von Halbleiterprozessen, die Bestimmung der Rampenrate und die Charakterisierung von Defekten und wurde weltweit in Hunderten von Produktionsumgebungen eingesetzt. Dieses Asset bietet auch hervorragende Auflösung, Wiederholbarkeit und automatisierte Software.
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