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VIT V13KA
ID: 9219930
Automatic Optical inspection systems.
VIT V13KA ist eine spezielle Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für hochgenaue Messtechnik und Fehlersortierung entwickelt wurde. Das System basiert auf einer fortschrittlichen vertikalen Waferstufe, die mit einer dreiachsigen Bewegungseinheit integriert ist, um eine präzise Waferinspektion und Sortierung in den x-, y- und z-Achsen zu ermöglichen. VIT verwendet eine Kombination aus taktiler Bildgebung, optischer Bildgebung und spektroskopischer Analyse, um eine Fehlersortierung bei der nanoskaligen Auflösung zu ermöglichen. Diese Maschine ist in der Lage, die 3D-Strukturen der Wafer mit hoher Genauigkeit und Subnanometer-Präzision zu untersuchen. Der Kern des Tools liegt in seiner eigenen Softwareplattform, die theoretische und datengetriebene messtechnische Lösungen beinhaltet. Diese Software ist in der Lage, Benutzer bei der Auswertung und Klassifizierung von Wafern zu unterstützen, indem sie fortschrittliche Algorithmen und künstliche Intelligenz (KI) verwendet, um die Waferoberfläche zu analysieren und die Fehler zu identifizieren. Darüber hinaus verfügt das Asset über integrierte Fehlersortierungsfunktionen, Algorithmen zur automatisierten Entscheidungsfindung und Fehlerphysik-Modellierung. Das Modell kann für Tests auf Waferebene und Messtechnik verwendet werden und bietet direkten Zugriff auf mehrere Schichten für eine verbesserte Analyse. Das Gerät verwendet ein proprietäres optisches Abbildungssystem, um die nanoskaligen Merkmale des Wafers präzise zu erfassen. Das optische Modul unterstützt auch die Aufnahme mehrerer Kameras für eine bessere visuelle Inspektion und Unterscheidung zwischen den Merkmalen. VIT bietet auch eine integrierte Scanstufe, um das On-the-Fly-Scannen des Wafers zu ermöglichen. Diese Scanfunktion wird durch eine hochpräzise Encodereinheit ermöglicht, die eine genaue Flugbahn über die Waferoberfläche beibehält und eine schnelle und dynamische Wafertests ermöglicht. Dieser Codierer unterstützt auch die präzise Messung der Oberflächentopographie über kontaktlose Bildgebung und ermöglicht eine hochgenaue 3D-Oberflächenbildgebung. VIT ist in der Lage, verschiedene Arten von Defekten zu erkennen, wie nanoskalige Partikel, Unterflächenlücken und andere nicht sichtbare Oberflächendefekte. Diese Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine ist auch in der Lage, mehrere Wafertypen wie Halbleiter, Keramik, Quarz und Metallsubstrate zu handhaben. Darüber hinaus bietet VIT Benutzern anpassbare Workflow-Optionen wie benutzerdefinierte Wafer-Vorverarbeitung, Fehleranalyse und Nachbearbeitung. Zusätzlich kann das Tool zur statistischen Prozesssteuerung (SPC) und zur analytischen Datenverarbeitung eingesetzt werden. Insgesamt ist V13KA eine umfassende Wafer-Test- und Messtechnik-Komponente, die eine verbesserte Waferinspektion und Fehlersortierung ermöglicht. Das Modell bietet hochgenaue Messtechnik und Fehlersortierungsfunktionen, die eine nanoskalige Auflösung und Erkennung verschiedener Arten von Waferdefekten ermöglichen. In Kombination mit seiner Embedded Software ist VIT V13KA ein leistungsfähiges Waferanalyse- und Testgerät.
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