Gebraucht WYKO / VEECO 600 #9234535 zu verkaufen

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WYKO / VEECO 600
Verkauft
ID: 9234535
Interferometer 1 um.
WYKO/VEECO 600 ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik, die auf Geschwindigkeit und Genauigkeit bei der Produktbewertung ausgelegt ist. Dieses System ist ein Frontend-Tool zur Analyse von Halbleiterscheiben beliebiger Geometrien mit einer Vielzahl von verfügbaren Messtechnologien, wie Atomkraftmikroskopie (AFM) und Rasterelektronenmikroskopie (Rasterelektronenmikroskopie). Es ist in der Lage, schnelle, hochpräzise Messfähigkeiten über den gesamten Bereich der Lithographie, Abscheidung, reaktives Ionenätzen und andere Verfahren für die Halbleiterherstellung. Das Gerät verfügt über ein patentiertes optisches Messtechnik-Design zur Inspektion, das über seine Marke WYKO Instruments erworben wurde. Diese optische Maschine umfasst eine schräge Lichtquelle und ein telezentrisches Linsenwerkzeug, die beide eine erhöhte Messgenauigkeit liefern. Das Asset ist auch mit einem Dual-XYZ-Scanmodell zum Scannen und entweder wiederholbarer XY- oder XYZ-Sondierung ausgestattet. WYKO 600 bietet auch die Sichtbarkeit der Waferoberfläche auf Funktionsebene für die Fehleranalyse. Es verfügt über integrierte Hard- und Software, um hochauflösende Bilder der Waferoberfläche zu messen, zu analysieren und zu vergleichen. Das Gerät ermöglicht automatisierte Datensammlungen von mehreren Stellen einer Waferoberfläche mit Partikelanalysesoftware. Das System ist mit leistungsstarken Betriebsmodi mit 200 oder 500 nm Auflösung und spezialisierten Messfähigkeiten ausgestattet. Diese Operationsmodi verfügen über Bewegungskorrektur, Kantenproblem-Duplikation und Messmeditation für erhöhte Auflösung. Es verfügt über eine Multi Target Scanning (MTS) -Fähigkeit zur Überwachung der Einheitlichkeit der Funktionen und zur Bestimmung der Prozessstabilität und Produktkonsistenz. VEECO 600 ist eine vielseitige Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit mit leistungsstarken Funktionen. Es ist auf Geschwindigkeit, Genauigkeit und Komfort ausgelegt und kann zur Optimierung vieler Fertigungsprozesse verwendet werden. Es ist ein ideales Werkzeug für die Prüfung und Analyse von Halbleiterscheibengeometrien.
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