Gebraucht WYKO / VEECO NT 100628 #9105204 zu verkaufen

WYKO/VEECO NT 100628 ist eine hochpräzise Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Parametern im Zusammenhang mit der Herstellung von Wafern zu messen, einschließlich Dotierungsniveaus, Formgröße, Schritthöhen, Spannungsprofile und andere Halbleitereigenschaften. WYKO verwendet eine patentierte berührungslose optische Profilometrietechnik, um eine Vielzahl von Oberflächentopographien mit höchster Genauigkeit zu bestimmen; gekoppelt mit einem Feldemissionsrasterelektronenmikroskop (FE-SEM), das eine umfassende Palette von Test- und Messtechnikfunktionen für die Waferherstellung bietet. Zu den Systemkomponenten gehören die DBA (Data Acquisition Unit) Umgebungsgehäuse für WYKO NT 100628, der optische Phasenschieber, das Feldemissionsrasterelektronenmikroskop (FE-SEM), das vibroakustische Scannen sowie eine Vielzahl von Proben- und Bühnenmanipulationssystemen. Zur Bewegung und Manipulation der Wafer ist ein z-Achsen-Positionierer enthalten. Diese Einheit ist in der Lage, sich bis zu 50mm in z-Richtung zu bewegen, was eine genaue und stabile Probenausrichtung während der Prüf- und Messtechnik ermöglicht. Das FE-SEM von VEECO NT 100628 bietet eine konkurrenzlose Bildauflösung und -details, die durch eine Vielzahl von Funktionen wie automatisierte Bildoptimierung, spektrale Kartenabtastung (zur Verbesserung des Bildkontrasts) und eine Vielzahl von Emissionsstromwerten unterstützt werden. Diese Einheit ist in der Lage, genaue Wafer-Charakteristikmessungen unabhängig von Substratparametern oder Merkmalsgröße bereitzustellen. Die optische Maschine von NT 100628 umfasst eine Vielzahl von Scanoptionen, um absolute Höhen- oder Tiefenprofile, Querschnittsbilder mit Querschnittstiefensteuerung und automatisierte Konstruktionsprofile zu ermöglichen. VEECO Vibro-Acoustical Scanner (VAS) verwendet einzigartig entwickelte Algorithmen, um morphologische Merkmale und Dimensionen zu messen. WYKO/VEECO NT 100628 verfügt auch über einen automatischen Schichtdicken-Profiler (ALTP), der verwendet wird, um die Dicke der auf dem Wafer vorhandenen Schichten zu messen. Insgesamt ist WYKO NT 100628 ein High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Tool, das eine umfassende Palette von Funktionen bietet, um genaue und zuverlässige Inspektion, Analyse und Charakterisierung von Halbleiterscheiben zu ermöglichen. Die Kombination dieser Einheit aus optischen, FE-SEM und vibroakustischen Scantechnologien wird durch eine Reihe automatisierter Funktionen ergänzt, um die Datenerfassung und -analyse zu vereinfachen und zu beschleunigen. VEECO NT 100628 ist eine robuste und zuverlässige Anlage, die auf die Anforderungen der anspruchsvollsten Halbleiterproduktions- und Forschungsumgebungen zugeschnitten ist.