Gebraucht WYKO / VEECO NT 3300 #9232802 zu verkaufen
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ID: 9232802
Optical profiler
3D Surface profilometry
Motorized turret with (3) Objectives: 5x, 20x, 50x
Operating system: Windows NT.
WYKO/VEECO NT 3300 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um eine Vielzahl von Geräteeigenschaften schnell zu messen. Dieses System ermöglicht es Ingenieuren, Funktionen wie kritische Dimensionen, Overlay, Ebenheit, Laugung, Bleineigung, Seitenwandwinkel und andere zu messen. WYKO NT 3300 verwendet eine neuartige Wafer-Montageeinheit namens UltraGantry, die sowohl eine verbesserte kinematische Leistung als auch eine automatisierte, parametrische Wafer-Handhabung bietet. Diese Maschine unterstützt eine Vielzahl von Wafergrößen von 6 Zoll bis 200 mm und ist somit eine ideale Wahl für Halbleiterentwickler. VEECO NT 3300 verfügt außerdem über einen Hochgeschwindigkeits-Scanner, der eine schnelle visuelle Inspektion ermöglicht, wodurch große Oberflächen schnell überprüft werden können. Dieses Tool beinhaltet eine neue Scanbewegungs-Steuerungstechnologie namens Sanft scannen, die sicherstellt, dass der Scankopf nie Kontakt mit dem Wafer-Rücken aufnimmt. Dies hilft, schnelle und zuverlässige Messungen zu liefern, um ertragsbegrenzende Defekte wie Verunreinigungen, Kratzer und Partikel zu identifizieren. NT 3300 bietet eine breite Palette von Softwareoptionen, mit denen Ingenieure das Asset einfach in ihre Daten- und Messsysteme integrieren können. Dazu gehören Software-Tools wie Electrical Image Test Analysis (EITA), die die elektrischen Eigenschaften von Schaltungsmerkmalen misst, und statistische Prozesssteuerung (Statistical Process Control, SPC), die bei der Entwicklung von Prozessmodellen zur Optimierung der Herstellung von Produkten hilft. WYKO/VEECO NT 3300 verfügt zudem über eine vielseitige optische Messtechnik-Plattform, die eine Vielzahl von Zielen und Optimierungsstrategien unterstützt. Dieses Modell kann verwendet werden, um Merkmale wie Überlagerungsausrichtung, Kontakt- und Grabenbereich, Kontaktwiderstand, dielektrische Isolation und Seitenwandwinkel zu messen. Es ist auch in der Lage, die Testparameter automatisch zu optimieren, um optimale Ergebnisse für Test- und Produktionsmuster zu erhalten. Darüber hinaus umfasst WYKO NT 3300 eine Reihe von Prozessüberprüfungsmodulen, die sicherstellen, dass das Gerät nach höchsten Qualitätsstandards hergestellt wird. Dazu gehören Optionen wie die Prüfung der elektrostatischen Entladung (ESD), die nachweist, dass während des Herstellungsprozesses keine elektrische Ladung aufgebaut wird. VEECO NT 3300 ist mit seinem vielseitigen Funktionsumfang und seinen leistungsstarken Messfähigkeiten eine ideale Ausrüstung für diejenigen, die nach hoher Genauigkeit und zuverlässigen Wafertests und messtechnischen Fähigkeiten suchen.
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