Gebraucht WYKO / VEECO NT 8000 #293824503 zu verkaufen

WYKO/VEECO NT 8000 ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das berührungslose, zerstörungsfreie Analyse von Halbleiterscheiben bietet. Es wurde entwickelt, um den Datenerfassungs- und Analyseprozess zu automatisieren, um die Genauigkeit der Wafermessungen zu maximieren. WYKO NT 8000 verwendet einen WYKO-optischen Kopf, der auf einem dreiachsigen Luftlagerpositionierungssystem montiert ist, um sowohl topographische als auch optische Daten des Wafers zu erfassen. Der optische Kopf von VEECO verwendet ein Laserscanning-Interferometer, das die Oberflächentopographie mittels optischer Interferenz misst. Dieses Interferometer scannt über die Oberfläche des Wafers mit einem hochfokussierten Laserstrahl, um eine Reihe von Querschnittsbildern zu erzeugen. Anschließend werden die Bilder analysiert, um die Topographie jedes Merkmals auf dem Wafer zu bestimmen. Diese Informationen werden zur Berechnung der Oberflächenrauhigkeit, Schritthöhe, kritischen Bemaßung und anderer kritischer Prozessparameter verwendet. Der NT 8000 nutzt fortschrittliche Optik und dreidimensionale Datenerfassung mit seiner „Triple Beams“ -Technik, um die Vorder- und Rückseite des Wafers gleichzeitig zu messen. Es enthält auch Umgebungs-Rasterelektronenmikroskop (ESEM) Fähigkeiten, die die Analyse von sehr kleinen Merkmalen auf dem Wafer ermöglichen. VEECO NT8000 bietet eine breite Palette von Datenanalysetools zur Verarbeitung der erfassten Daten. Die Advanced Image Analysis Suite (AIA) ist ein Bildverarbeitungswerkzeug zum Extrahieren von Messungen aus Bildern und zur spektralen Analyse der erfassten Daten. Darüber hinaus ermöglicht die Software Spectral Resolution (SR) dem Benutzer, den spektralen Inhalt der erfassten Daten zu quantifizieren. WYKO NT8000 bietet fortgeschrittene Metrologietechniken wie gestreuter leichter, winkeliger scatterometry und 3D-Steindruckverfahrentopografiemaßfähigkeiten an. Es enthält auch ein spezielles Feature-Messmodul, das erweiterte Funktionspassfähigkeit bietet, die verwendet werden kann, um komplexe 3D-Formen oder Topographie auf Wafern zu messen. WYKO/VEECO NT8000 ist für den Betrieb in einer Vielzahl von industriellen Umgebungen wie standardisiert (Luft oder Reinraum) und nicht standardmäßig, einschließlich Ultrahochvakuum (UHV). Es ist ein ideales Werkzeug für Qualitätskontrolle und Prozessoptimierung in der Halbleiterindustrie.