Gebraucht WYKO / VEECO NT 9100 M #9208129 zu verkaufen

WYKO/VEECO NT 9100 M ist eine Präzisions-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine maximale Präzision und Genauigkeit für die berührungslose Oberflächenanalyse von Wafern und Dünnschichtstrukturen bietet. Dieses System nutzt eine Kombination aus mehreren Systemen, einschließlich automatisierter optischer Mikroskopie (AOM), Rasterelektronenmikroskopie (SEM) und Kapazitätsabbildung (CI), um eine genaue Analyse der Oberfläche von Wafern und Dünnschichtstrukturen zu ermöglichen. WYKO NT 9100 M besteht aus drei Hauptkomponenten; eine Bühne, eine Beleuchtungseinheit und ein Detektor. Die Bühne ist in der Lage, Objekte bis 1000 x 1000 mm in der Größe zu stützen. Er kann sich linear oder drehend bewegen und mit Geschwindigkeiten von bis zu 0,02 Mikrometer pro Sekunde angetrieben werden. Dies ist notwendig, um die hohe Präzision und Genauigkeit zu erreichen, die in der Waferprüfung und Messtechnik erforderlich ist. Die Beleuchtungsmaschine besteht entweder aus sichtbaren oder infraroten Lichtquellen, um einen optimalen Kontrast für die Oberflächenanalyse zu bieten. Schließlich ist der Detektor in der Lage, Bilddaten von der beleuchteten Waferoberfläche mit einer Auflösung von 0,7 µm und einem Dynamikbereich von 2 Größenordnungen mit einer SNR von > 80 dB zu sammeln. VEECO NT 9100 M kann sowohl planare als auch nicht planare Waferflächen analysieren. Das Werkzeug ist in der Lage, relative Dicke, Filmhaftung, Oberflächenfehler und Topologie zu messen. Es kann auch das Auftreten von TiN-Abscheidung auf der Waferoberfläche identifizieren und Korngröße und Tiefe messen. Darüber hinaus kann der Vermögenswert Oberflächenreflektivität messen. Alle diese Daten werden mit einem konfokalen Steuermodell aufgezeichnet, mit dem die erfassten Daten analysiert werden können, um wichtige Metriken für die Prozesssteuerung oder -modellierung zu liefern. NT 9100 M bietet eine Reihe von Funktionen für genaue Wafertests und Messtechnik. Es kann ferngesteuert mit einem eigenen Steuerungsarbeitsplatz betrieben werden, wodurch die physikalische Präsenz für die Analyse von Wafern und Dünnschichtstrukturen entfällt. Die konfokale Steuerung ist sicher und vollständig anpassbar, so dass eine breite Palette von Konfigurationen, um die spezifischen Anforderungen einer Vielzahl von Anwendungen zu erfüllen. Schließlich bietet das System eine Reihe von Software-Tools und Analysepaketen, mit denen Berichte und Analysen der erfassten Daten generiert werden können. Zusammenfassend ist WYKO/VEECO NT 9100 M eine Präzisions-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit, die für die berührungslose Oberflächenanalyse von Wafern und Dünnschichtstrukturen entwickelt wurde. Es verwendet eine Kombination aus AOM, SEM und CI, um eine genaue Analyse der Waferoberflächen zu ermöglichen. Die Maschine bietet Funktionen wie automatisierte Bühnenbewegung und -anpassung, Fernbedienung und eine Reihe von Software-Tools und Analysepaketen. Alle diese Funktionen machen WYKO NT 9100 M zu einer idealen Wahl für Anwendungen, die Genauigkeit und Präzision in der Wafertests und Messtechnik erfordern.