Gebraucht WYKO / VEECO RST #160187 zu verkaufen
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ID: 160187
Optical Profiler Interferometer Microscope
TMC 63-222-6501 High-Performance Lab Table
Components Included:
(1) Wyko RST Interferometer Microscope
(1) Wyko Optical Profiler Base w/ 6” x 10⅜” Stage
(1) 0.62X Field Lens
(1) 1.0X Field Lens
(1) 1.5X Field Lens
(1) Alignment Field Lens
(1) RX2.5 Objective Lenses
(1) RX10 Objective Lenses
(1) RX40 Objective Lenses
(1) External Light Source Unit
(1) 37-Pin Wyko Control Box Ribbon Cable
(1) 4’ Fiber Optic Light Source Tube
Included in Light Source Unit:
(1) 90nm-N.D.
(1) 672.2 79nm-B.P.
(1) 462.9nm 73.6nm-B.P
(1) 501.7nm 10.3nm-B.P
Light source: External Wyko Unit
Stage: ±6° tip/tilt, ±90° rotation, ±2 in x,y
Missing one 90° Elbow fitting for vibration dampening system.
WYKO/VEECO RST ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System zur Inspektion und Charakterisierung von Halbleiterscheiben. Es ist in der Lage, berührungslose Messtechnik von Waferfolien, Grenzflächen und anderen Schichten mit hoher Genauigkeit und Durchsatz bereitzustellen. Das Gerät verwendet ein modernes, hochgenaues optisches Streumessgerät, um die Eigenschaften von Objektscheiben berührungslos zu messen. Das optische Streumessgerät verwendet eine Kombination aus reflektierter Lichtintensität und Winkelverteilungsmessungen, um Filme und Oberflächen auf Nanometerebene zu charakterisieren. Darüber hinaus verfügt es über die Fähigkeit, Merkmale mit einer Nanometerauflösung zu messen. WYKO RST Maschine ist entworfen, um die Nachfrage nach sehr schnellen Messzyklen zu erfüllen. Dies macht das Werkzeug sehr effizient und in der Lage, schnell zuverlässige Ergebnisse zu liefern. Es bedeutet auch, dass mehr Messungen an jedem Wafer durchgeführt werden können, während Verzögerungen vermieden werden. Neben seiner hohen Geschwindigkeit bietet VEECO RST asset auch eine hohe Maßgenauigkeit und Wiederholbarkeit für zuverlässige Leistung. Das Modell umfasst fortgeschrittene Software-Tools zur schnellen Datenanalyse, automatisierten Pass/Fail-Entscheidungen und Berichterstattung. Alle Daten werden vom optischen Streugerät erfasst und anschließend verarbeitet und für einfachen Zugriff und Verständnis gespeichert. RST-Ausrüstung bietet auch eine breite Palette von Musterbehandlungsoptionen, um die Prüfung zu beschleunigen. Robotisierte Stufen bewegen die Probe kontrolliert, schnell und präzise in die richtige Messposition. Automatisiertes Be- und Entladen reduziert zudem die manuelle Arbeit und beschleunigt den gesamten Prozess. WYKO/VEECO RST-System bietet flexible Leistung, die auf die Anforderungen jedes Benutzers zugeschnitten werden kann. Umfassende Software- und Hardwareanpassung hat es dem Gerät ermöglicht, zuverlässige Tests und Messtechnik anzubieten. Dank schneller Zykluszeiten und leistungsstarker Datenanalyse eignet sich die Maschine perfekt für Anwendungen wie 3D-Messtechnik, Bildanalyse, Waferüberprüfung, Oberflächencharakterisierung und Fehlererkennung.
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