Gebraucht WYKO / VEECO RST+ #67577 zu verkaufen

WYKO/VEECO RST + ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik zur Charakterisierung von Halbleiterscheiben. Dieses System ist für die Messung sowohl optischer als auch elektrischer Eigenschaften des Wafermaterials konzipiert und liefert wertvolle Daten für die weitere Analyse und Instrumentenherstellung. Die Einheit besteht aus einer Messtechnik-Einheit auf Basis der Eximer-Laser-Scanning-Technologie und einer Testeinheit, die Mehrsonden-Technologie verwendet. Die Metrologie-Einheit ist in der Lage, eine breite Palette von Parametern zu messen, einschließlich Kristallorientierung, Textur, Oberflächen- und Kantenqualität, Dickengleichförmigkeit, Oberflächenreflektivität und topographische Höhe. Dies kann mit Abtastraten von bis zu 30 mm/s erfolgen, bei gleichzeitiger Erzielung wiederholbarer Ergebnisse mit einer hohen Genauigkeit von ± 2,5 nm (Zwei-Sigma). Es ist auch in der Lage, in 3D abzubilden und die Ergebnisse in stereoskopischer Ansicht darzustellen. Die Maschine ist in der Lage, eine Vielzahl von verschiedenen Materialtypen von Silizium bis Galliumarsenid zu inspizieren. Die Testeinheit nutzt die Multi-Sonden-Technologie für elektrische und optoelektronische Tests. Dies beinhaltet elektrische Eigenschaften einer Vielzahl von Parametern, einschließlich Gate-Leckstrom, Gate-Kapazität, Gate-Drain-Kapazität und Leckstrom. Dies kann mit einer Genauigkeit von ± 0.5fA erfolgen. Zusätzlich können optoelektronische Eigenschaften wie optische Lebensdauer und Photon-Träger-Mobilitätsverhältnis gemessen werden. Mit einer Abtastgeschwindigkeit von bis zu 30 Sonden/s kann das Werkzeug sowohl elektrische als auch optische Eigenschaften eines einzelnen Wafers analysieren. WYKO RST + asset liefert genaue und wiederholbare Messergebnisse für optische und elektrische Eigenschaften von Wafermaterial. Die Messtechnik und Testeinheiten sind vollständig automatisiert und ermöglichen schnelle Messungen und liefern wertvolle Daten für die weitere Analyse und Fertigung. Das Modell ist in der Lage, eine Vielzahl von verschiedenen Materialtypen zu analysieren und hat eine hohe Genauigkeit sowohl in optischen als auch in elektrischen Parametern.