Gebraucht AKRION 9200 / 9200A #9105637 zu verkaufen

AKRION 9200/ 9200A Nassstation ist eine präzise, hochleistungsfähige Nassverarbeitungsanlage, die für hochleistungsfähige Nassätz- und Reinigungslösungen für produktionsfertige Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Das System nutzt modernste Technologie und robuste Prozesssteuerungssoftware, um eine enge Prozesssteuerung mit hochpräzisen Ergebnissen zu erreichen. Die Einheit besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer Naßverarbeitungskammer, einem Substrathalter und einer Lösungshandhabungseinheit. Die Nassverarbeitungskammer ist mit fortschrittlichen, digital gesteuerten Thermo- und Durchflussregelelementen ausgestattet, die eine gleichmäßige Ätz- und saubere Ergebnisse gewährleisten. Darüber hinaus ist der Controller in der Lage, bis zu dreißig standardisierte Rezepte zu speichern, mit denen Benutzer in der Lage sind, in mehreren Parametern einschließlich Lösungstemperatur, Zykluszeit, Ätzzeit, Spülzeit und mehr zu programmieren. Der Substrathalter ist dafür verantwortlich, die Substrate während der Verarbeitung an Ort und Stelle zu halten. Es enthält einen abnehmbaren Rahmen, so dass Benutzer einfach mehrere Substrate in die Maschine einsetzen können. Darüber hinaus enthält die Steuerung eine Vielzahl von Bewegungssteuerungsmerkmalen, einschließlich Drehung, Vorwärts-/Rückwärtsbewegung und Impulsdauer. 9200/ 9200A Nassstation verfügt zudem über eine fortschrittliche, automatisierte Lösungshandhabungseinheit für präzise Lösungslieferung und Trocknung. Dieses Gerät verwendet einen Satz von Pumpen, um die Ätz- und Spüllösungen an die Substrathalter zu liefern, und einen Satz von Ultraschallsprühdüsen, um den Lösungsfluss genau zu steuern. Die ausgeklügelte Software des Geräts gewährleistet eine genaue Echtzeitüberwachung und Analyse der Lösungen, wenn sie in die Kammer freigegeben werden. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine laserbasierte Dickenmesseinrichtung mit integrierter Signalanalyse, so dass Benutzer die Filmdicke vor der Verarbeitung genau messen können. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, Ätzprozesse zu optimieren, um genaue Zieldicken zu erreichen. Schließlich verfügt AKRION 9200/ 9200A Nassstation auch über integrierte Sicherheitsmaßnahmen, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Diese Maßnahmen umfassen ein Opto-Sicherheitsmerkmal, das bei geöffneter Kammer vor dem Eindringen von Händen schützt, sowie Temperatur- und Drucksensoren, die Benutzer darauf aufmerksam machen, wenn sich einer dieser Werte außerhalb ihrer eingestellten Parameter befindet. Zusammenfassend ist 9200/ 9200A Nassstation ein leistungsstarkes, präzises Nassverarbeitungsmodell, das Anwendern konsistente Ätz- und Reinigungslösungen für produktionsfertige Halbleiterbauelemente bietet. Das Gerät verfügt über eine robuste Thermo- und Flusssteuerung, fortschrittliche Bewegungssteuerung, automatisierte Lösungshandhabungseinheit, laserbasierte Dickenmessung und integrierte Sicherheitsfunktionen für einen effizienten und sicheren Betrieb.