Gebraucht AKRION AWP #9141996 zu verkaufen
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ID: 9141996
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Wet process system, 8"
Install type : Stand alone
Process flow : R -> L
Cassette interface :
(2) Tec SEM integrated SMIF
(50) Wafer batch loading
Robot handler : Parker
Module configuration :
Mod 1 (Process) : DSP
Chem : H2SO4/HF 13:1
Temp : 60°C
Material type : PVDF
Mod 2 (Rinse) : QDR (Cold) / CO2
Temp : Ambient
Material type : PVDF
Mod 2 (Clean) : Gripper clean (GC)
Material type : PVDF
Mod 3 (Auxiliary) : AUX
Mod 4 (Dryer) : DMG
Marangoni IPA dry
Material type : PVDF
Mod 5 (Buffer) : PP
Mod 6 (Transfer) : Transfer station
Mod 6 (In/Out station) : In/Out
UI, CPU, Monitors
Fire extinguisher system (Control panel)
Chemicals :
H2SO4 (PFA material)
HF (PFA material)
IPA (SS material)
Drains :
Main : PVC, 50A
Acid : PVC, 50A
Alkali : PVC, 50A
Industrial : PVC, 50A
Reclaim : PVC, 50A
Exhaust :
Acid : PVC, 100A (Flange)
Alkali : PVC, 100A (Flange)
Solvent : PVC, 100A (Flange)
Safety interlocks :
Leakage sensor
Temp
Over temp
Exhaust
Sniffer
Ultrasonic dry protect
Heat exchanger
Door sensors
Light barrier
Power requirements : 120/208VAC (8kVA), 22A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
UPS back-up power : 120/208VAC (7.5kVA), 21A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
2001 vintage.
AKRION AWP (Advanced Wet Processing) ist eine Nassstation für die automatisierte Waferproduktion. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von nasschemischen Verarbeitungsaufgaben wie Waferreinigung, Oberflächenbehandlung, Ätzen, Kleben und Lithographie durchzuführen. Die AWP-Station enthält alle Komponenten, die für die automatisierte Nassverarbeitung benötigt werden, einschließlich eines maßgeschneiderten Waferhalters, eines Roboterarms, einer Waage und eines Fluidmanagementsystems. Der Waferhalter ist so konzipiert, dass er die Wafer während der Verarbeitung sicher hält und gewährleistet, dass sie nicht verrutschen oder kontaminiert werden. Der Roboterarm verwendet exakt programmierte Bewegungen, um den Wafer präzise im gewünschten Bearbeitungsbereich der Station zu platzieren. Es kann auch programmiert werden, um genaue Standardvolumen der Flüssigkeit in den Wafer zu messen. Die Wägeeinheit ist ein genauer und reaktiver digitaler Maßstab, der mit komplexen Algorithmen kleine Gewichtsänderungen des nassen Waferstapels erfaßt und das Be- und Entladen der Station beschleunigt. Die Fluidmanagementmaschine ist in die Station integriert, um einen stabilen und zuverlässigen Flüssigkeitsfluss zu den Wafern zu ermöglichen. Es besteht auch aus zwei mikrofluidischen Mischmodulen, die eine präzise chemische Dosierung von Materialien ermöglichen. AKRION AWP Station verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitskontrollen, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten, wie Chemikalienbelag, ein eingebautes Alarmwerkzeug, einen Sicherheitszaun rund um den Arbeitsbereich und eine belüftete Haube, um das Risiko der Exposition gegenüber gefährlichen Flüssigkeiten und Dämpfen zu verringern. Darüber hinaus ist AWP mit einem wasserbeständigen Gehäuse ausgestattet, um den Eintritt von Wasser oder anderen Verunreinigungen in den Arbeitsraum zu verhindern. Abschließend ist AKRION AWP eine fortschrittliche Nassverarbeitungsstation, die eine hochautomatisierte und effiziente Waferproduktion ermöglicht. Das robuste und sichere Design, der präzise Roboterarm und die Waage sowie das hervorragende Fluidmanagementmodell machen es zu einem außergewöhnlich zuverlässigen Gerät, das eine Vielzahl von nasschemischen Verarbeitungsaufgaben übernehmen kann.
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