Gebraucht AKRION AWP #9141996 zu verkaufen

Hersteller
AKRION
Modell
AWP
ID: 9141996
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Wet process system, 8" Install type : Stand alone Process flow : R -> L Cassette interface : (2) Tec SEM integrated SMIF (50) Wafer batch loading Robot handler : Parker Module configuration : Mod 1 (Process) : DSP ƒChem : H2SO4/HF 13:1 ƒTemp : 60°C ƒMaterial type : PVDF Mod 2 (Rinse) : QDR (Cold) / CO2 ƒTemp : Ambient ƒMaterial type : PVDF Mod 2 (Clean) : Gripper clean (GC) ƒMaterial type : PVDF Mod 3 (Auxiliary) : AUX Mod 4 (Dryer) : DMG ƒMarangoni IPA dry ƒMaterial type : PVDF Mod 5 (Buffer) : PP Mod 6 (Transfer) : Transfer station Mod 6 (In/Out station) : In/Out ƒUI, CPU, Monitors ƒFire extinguisher system (Control panel) Chemicals : H2SO4 (PFA material) HF (PFA material) IPA (SS material) Drains : Main : PVC, 50A Acid : PVC, 50A Alkali : PVC, 50A Industrial : PVC, 50A Reclaim : PVC, 50A Exhaust : Acid : PVC, 100A (Flange) Alkali : PVC, 100A (Flange) Solvent : PVC, 100A (Flange) Safety interlocks : Leakage sensor Temp Over temp Exhaust Sniffer Ultrasonic dry protect Heat exchanger Door sensors Light barrier Power requirements : 120/208VAC (8kVA), 22A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz UPS back-up power : 120/208VAC (7.5kVA), 21A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz 2001 vintage.
AKRION AWP (Advanced Wet Processing) ist eine Nassstation für die automatisierte Waferproduktion. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von nasschemischen Verarbeitungsaufgaben wie Waferreinigung, Oberflächenbehandlung, Ätzen, Kleben und Lithographie durchzuführen. Die AWP-Station enthält alle Komponenten, die für die automatisierte Nassverarbeitung benötigt werden, einschließlich eines maßgeschneiderten Waferhalters, eines Roboterarms, einer Waage und eines Fluidmanagementsystems. Der Waferhalter ist so konzipiert, dass er die Wafer während der Verarbeitung sicher hält und gewährleistet, dass sie nicht verrutschen oder kontaminiert werden. Der Roboterarm verwendet exakt programmierte Bewegungen, um den Wafer präzise im gewünschten Bearbeitungsbereich der Station zu platzieren. Es kann auch programmiert werden, um genaue Standardvolumen der Flüssigkeit in den Wafer zu messen. Die Wägeeinheit ist ein genauer und reaktiver digitaler Maßstab, der mit komplexen Algorithmen kleine Gewichtsänderungen des nassen Waferstapels erfaßt und das Be- und Entladen der Station beschleunigt. Die Fluidmanagementmaschine ist in die Station integriert, um einen stabilen und zuverlässigen Flüssigkeitsfluss zu den Wafern zu ermöglichen. Es besteht auch aus zwei mikrofluidischen Mischmodulen, die eine präzise chemische Dosierung von Materialien ermöglichen. AKRION AWP Station verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitskontrollen, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten, wie Chemikalienbelag, ein eingebautes Alarmwerkzeug, einen Sicherheitszaun rund um den Arbeitsbereich und eine belüftete Haube, um das Risiko der Exposition gegenüber gefährlichen Flüssigkeiten und Dämpfen zu verringern. Darüber hinaus ist AWP mit einem wasserbeständigen Gehäuse ausgestattet, um den Eintritt von Wasser oder anderen Verunreinigungen in den Arbeitsraum zu verhindern. Abschließend ist AKRION AWP eine fortschrittliche Nassverarbeitungsstation, die eine hochautomatisierte und effiziente Waferproduktion ermöglicht. Das robuste und sichere Design, der präzise Roboterarm und die Waage sowie das hervorragende Fluidmanagementmodell machen es zu einem außergewöhnlich zuverlässigen Gerät, das eine Vielzahl von nasschemischen Verarbeitungsaufgaben übernehmen kann.
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