Gebraucht AKRION GAMA #9278669 zu verkaufen

AKRION GAMA
Hersteller
AKRION
Modell
GAMA
ID: 9278669
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1997
Wet bench, 6" Configuration: SMS H3P04 Bench Process: Nitride/Oxide wet etch 1997 vintage.
AKRION GAMA ist eine Nassstation zur Vorbehandlung und Ätzung von Metallen bei der Herstellung von Halbleiterschaltungen. Es wird verwendet, um die verschiedenen anisotropen Eigenschaften verschiedener Metalle zu nutzen, um Muster im Metall zu erzeugen. Die Station löst mit einem starken Oxidationsmittel Metalle in das gewünschte Muster. Im Allgemeinen besteht GAMA aus vier Hauptkomponenten: der Reaktionskammer, der Ätzkammer, dem Ätzmittel und dem chemischen Verarbeitungssystem. Das Ätzmittel ist ein starkes Oxidationsmittel, meist eine Säure oder ein Gemisch von Säuren. Dieses Mittel löst bei ordnungsgemäßer Anwendung und unter den richtigen Bedingungen spezifische Metalle auf, um ein gewünschtes Muster zu erzeugen. Die Reaktionskammer ist der Bereich, in dem das Ätzmittel eingebracht wird und der Ätzvorgang stattfindet. Die Reaktionskammer ist durch einen abgedichteten, flüssigkeitsdichten Behälter von der realen Welt getrennt. Dieser Behälter ist als Ätzkammer bekannt. Die Ätzkammer ist mit einer Vielzahl von Komponenten ausgestattet. Dazu gehören Dampfbehälterkammern, Metallfüllstoffe und Leitbleche, um sicherzustellen, dass der Ätzprozess optimiert wird. Das chemische Verarbeitungssystem arbeitet, um das Ätzmittel genau zu messen und den Fluss von ihm zu steuern. Es ähnelt einem Computerprogramm, das auf die exakten Ätzparameter abgestimmt werden kann, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Auch dieses System muss kalibriert werden, um eine präzise und gleichmäßige Metallauflösung zu gewährleisten. Sobald eine geeignete Rezeptur gewählt ist, wird die Ätzlösung in die Ätzkammer gegossen. Die Temperatur wird erhöht und das reagierende Metall an der Oberfläche der Ätzkammer verdampft. Während das Metall verdampft, verbindet es sich mit dem Ätzmittel und ein Muster beginnt sich zu bilden. Die Genauigkeit des Verfahrens hängt von den Ätzmittelkonzentrationen und der genauen Regelung der Temperatur ab. AKRION GAMA ist eine leistungsstarke Metallätz- und Vorbehandlungsstation, auf die man sich verlassen kann, um das gewünschte Muster zu erstellen. Es ermöglicht eine präzise Steuerung der Parameter, um sicherzustellen, dass das Metall gleichmäßig entfernt wird. GAMA kann bei der Herstellung komplizierter Metallhalbleiterbauelemente eingesetzt werden und ist ein unschätzbares Werkzeug für die Halbleiterindustrie.
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