Gebraucht AKRION HL 2000 #9157799 zu verkaufen

AKRION HL 2000 ist eine Nassstation, die eine komplette Nassätzanlage für die Herstellung von Halbleitern und mikroelektronischen Bauelementen bereitstellt. Es ist eine vielseitige Plattform für Ätz-, Reinigungs- und HF-Säureentfernungsprozesse. Das System ist in der Lage, bis zu vier Wafer zu handhaben und soll die Bearbeitungszeit komprimieren und den chemischen Einsatz reduzieren. HL 2000 ist mit einer einzigen Kammer mit mehreren Kassettenoptionen konfiguriert. Es verfügt über einen vollautomatischen Be- und Entladevorgang für Wafer und die Kammer ist so konzipiert, dass chemischer Dampf und andere Verunreinigungen nicht in das Gerät gelangen. Ein optionaler Prozesscontroller ermöglicht die Fernbedienung und -überwachung. Die Maschine ist mit zwei Gasverteilungssystemen ausgestattet, so dass der Benutzer ein eigenes Prozessrezept erstellen kann. Das Vakuumpumpenwerkzeug bietet bis zu 5 "Quecksilbervakuum und Temperaturregelung. Der Wäscher schützt Bediener vor gefährlichen Abgasen. AKRION HL 2000 beinhaltet auch nasse Prozesssteuerungen wie Rückfüllung und Frontfüllung der Prozesskammer. Diese Kontrollen helfen bei der Regulierung der Menge an HF-Säure, die zum Ätzen und Reinigen verwendet wird. Das Asset verfügt zudem über ein fortschrittliches integriertes chemisches Feed-Modell für effizientere und konsistentere Prozessergebnisse. Der integrierte Controller verfolgt notwendige Parameter, einschließlich Temperatur, Durchfluss und Zeit für eine fortschrittliche Prozesssteuerung. Das Gerät bietet zudem erweiterte integrierte Prozessüberwachungsfunktionen mit In-Chamber-Bildgebung und Partikeldetektion. Das optionale chemische Recyclingmodul hilft dabei, die Chemie- und Abwasserkosten zu senken und gleichzeitig einen saubereren Prozess zu ermöglichen. Insgesamt wurde HL 2000 entwickelt, um ein sicheres, integriertes und zuverlässiges Nassätzsystem bereitzustellen. Es ist in der Lage, qualitativ hochwertige Ergebnisse mit einer schnellen und effizienten Verarbeitung für eine breite Palette von Halbleiter- und Mikroelektronikbauelementen zu liefern.