Gebraucht AKRION UP-V2-HL 2000 #19302 zu verkaufen
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ID: 19302
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1997
Semiautomatic chrome etch station
With linear robotic transfer
(3) Tanks, 6"
(3) Positions
Robot
Automatic wafer transfer
Automatic wafer transfer type: Robotic
Controller type: PLC Controller type
PLC Controlled
Constructed of Corzan 4910 CPVC
Tank 1: PVDF Dual 6‰ DI/Chrome etch - Ambient recirc bath
Tank 2: PVDF Dual 6‰ DI Dragout - Ambient static bath
Tank 3: PVDF Dual 6‰ QDR - Cold
1997 vintage.
AKRION UP-V2-HL 2000 ist eine hochentwickelte Nassstation zur Oberflächenreinigung, Waferätzung, Pfostenreinigung und mehr. Es handelt sich um eine mehrstufige Prozesskammer, die in eine einzige Ausrüstung integriert ist und es dem Personal ermöglicht, den Fortschritt jedes Schritts einzeln zu überwachen und zu steuern. Dieses System ist extrem flexibel und kann eine breite Palette von Materialien und Prozessen aufnehmen. Die Einheit beginnt mit einer Unterdruck-, Polysilikonkristallätzenstufe, wo Metallionen verwendet werden, um Polysilikon und andere Materialien an der Nanoskala zu ätzen. An diese Stufe schließt sich eine Nachreinigungsstufe an, in der eventuell verbleibende Metallionen entfernt und Werkstücke für den nächsten Verfahrensschritt gereinigt werden. Die nächsten beiden Stufen beinhalten den Hochdruck-Reinigungsprozess. Dieses Hochdruck-Reinigungsverfahren verwendet eine Kombination aus Heißluft, Argongas und Sauerstoff, um unerwünschte Partikel zu entfernen und die Oberflächenqualitäten des Wafers zu verbessern. Die Maschine ist auch in der Lage, die Temperatur des Gases zu steuern, um hochpräzise Ergebnisse zu liefern. Das Werkzeug ist mit einer Vielzahl von Prozessen kompatibel, darunter Lithographie, Photolithographie, Ionenimplantation, Diffusionen und Ätzen. UP-V2-HL 2000 ist mit einer erweiterten Benutzeroberfläche mit direkter Kontrolle über jede Phase des Prozesses ausgestattet. Auf diese Weise können Mitarbeiter die Qualität jeder Stufe schnell analysieren und bei Bedarf Änderungen vornehmen, wodurch sie die komplette Kontrolle über den gesamten Betrieb erhalten. Schließlich ist die Anlage mit einer Notabschaltfunktion ausgestattet, die die Sicherheit im Labor gewährleistet. Das Modell ist außerdem mit einer automatischen Nachfülloption ausgestattet, die sicherstellt, dass das Personal die Ausrüstung für längere Zeit sicher unbeaufsichtigt lassen kann. AKRION UP-V2-HL 2000 ist eine hochentwickelte Nassstation, die komplexe Prozesse problemlos bewältigen kann. Seine benutzerfreundliche Oberfläche und Flexibilität machen es zu einer idealen Wahl für eine Reihe von Oberflächenreinigungs- und Ätzoperationen.
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