Gebraucht AKRION UP-V2 SA 2000 #293647712 zu verkaufen
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AKRION UP-V2 SA 2000 ist eine Nassätzkammerstation, die speziell für die hochpräzise Verarbeitung und Herstellung von Halbleitern und anderen mikroelektronischen Bauelementen entwickelt wurde. Diese Station ist in der Lage, äußerst genaue Ergebnisse mit minimalen Kollateralschäden am darunterliegenden Substrat zu erzielen. Die Station verfügt über eine doppelte, gegenläufige Drehspindeleinheit, die einen Strahl von Hochdruck-Prozessflüssigkeiten auf das Substrat lenkt, wodurch ein sehr genaues Aufbringen des Ätzmittels ermöglicht wird. Diese Station beinhaltet auch ein Inline-generatives Sprühsystem mit einer Ventilatordüse, die zur Erhöhung der Prozessgleichförmigkeit und -qualität beiträgt. Die Station enthält auch einen beheizten Wafer-Tisch, um gleichmäßige Verarbeitungstemperaturen zu gewährleisten, sowie ein hochempfindliches Sauerstoff/Argon-Gemisch, das optimale Ätzraten und Gleichmäßigkeit auf dem Substratmaterial gewährleistet. Das eingebaute Messsystem ermöglicht eine genaue und automatisierte Messung der Ätzrate und Gleichmäßigkeit der Verarbeitung, wodurch Ausfallzeiten minimiert und der Durchsatz erhöht wird. Dieses System ist auch in der Lage, die Reaktionsparameter zu überwachen und zu steuern, um eine optimale Wiederholbarkeit und Prozesskontrolle zu gewährleisten. Insgesamt bietet UP-V2 SA 2000 eine leistungsstarke und effiziente Nassätzverarbeitungslösung für die Halbleiterindustrie. Es vereint Präzision, Geschwindigkeit und Genauigkeit, um ein qualitativ hochwertiges Produkt zu erhalten und Abfälle sowie unnötige Zeit- und Personalinvestitionen in den Produktionsprozess zu vermeiden.
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