Gebraucht DNS / DAINIPPON FC-3000 #9210946 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON FC-3000 ist eine Nassstation für die fortschrittliche Lithographieverarbeitung. Das Gerät verwendet ein DIOS (Direct Imaging of Organic Solvent) -Verfahren und verfügt über eine Präzisionsstufe zur genauen Ausrichtung von Photomasken. Darüber hinaus verfügt das System über einen Leuchtdiodenprojektor (LED) und einen Belichtungssensor für eine hohe durchsatzgenaue Produktion ohne Trockenfilmbeschichtung. Das Gerät kann Wafer zwischen 5 und 300mm Durchmesser mit einer Auflösung von 0,5 Mikron oder weniger verarbeiten, so dass es ideal für den nanoskaligen Gerätedruck ist. Darüber hinaus ermöglicht der eingebaute Mini-Positionierermotor und das schnelle Ausrichtwerkzeug der Maschine eine präzise Ausrichtung mit reproduzierbarer Genauigkeit, was für hochauflösende lithografische Systeme unerlässlich ist. DNS FC3000 ist entworfen, um eine Vielzahl von Photomasken zu behandeln, einschließlich der mit Chrom-Maskierung, E-Strahl-Maskierung, Metall versiegelt, Antireflexion (AR) und Farbfilter (CF) Technologien. Der DIOS-Prozess der Anlage ermöglicht schnelle Belichtungszeiten, die von Photomasken-Fehlern nicht beeinflusst werden, und das Drucken von seitlichen und vertikalen Kanälen für eine überlegene Musterwiedergabe. DAINIPPON FC 3000 verfügt über eine Reihe von Software-Funktionen und Tools, um sicherzustellen, dass die Betreiber die volle Kontrolle über alle Aspekte der Lithographie-Verarbeitung haben. Dazu gehören Werkzeuge zur Ermittlung geeigneter Belichtungszeiten, Verwaltung und Übertragung von Daten zwischen Maskierungssystemen sowie Steuerung von Fokus- und Belichtungsparametern. Das Modell umfasst auch eine intuitive Benutzeroberfläche und automatisierte Testfunktionen, um die gewünschte Ergebnisqualität schnell zu gewährleisten. Darüber hinaus integriert sich die Ausrüstung in eine Reihe integrierter Kalibrier-/Messtechnik-Lösungen, die es den Anwendern ermöglichen, die höchste Genauigkeit der Prozesskontrolle aufrechtzuerhalten. Dadurch wird sichergestellt, dass Abweichungen zwischen Photomaske und Zielmuster während des lithographischen Prozesses detektiert und korrigiert werden können. Insgesamt ist DNS/DAINIPPON FC 3000 eine fortschrittliche Nassstation, die die höchsten Erwartungen an die Verarbeitung von Präzisionslithographie erfüllt. Es verfügt über einen DIOS-Prozess, ein schnelles Ausrichtungssystem und eine Reihe von Softwarefunktionen, um jedes Mal genaue Ergebnisse zu gewährleisten. Mit integrierten Kalibrier-/Metrologielösungen und intuitiver Benutzeroberfläche ist das Gerät eine ideale Wahl für die Herstellung von nanoskaligen Geräten mit hoher Reproduzierbarkeit und Genauigkeit.