Gebraucht DNS / DAINIPPON FC-3000 #9240250 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON FC-3000 Nassstation ist eine Hochleistungs-Nassverarbeitungsstation, die für anspruchsvolle Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Die Plattform bietet den höchsten Grad an Automatisierung und Kontrolle für eine breite Palette von fortschrittlichen Lithographieaufgaben, einschließlich Photoresist-Topping, Schrubbing, Slurry-Pufferung, Sprühbeschichtung, Post-Exposure-Backen und Resiststreifen. DNS- FC3000 können so konfiguriert werden, dass sie bestimmte Prozessanforderungen erfüllen. Es verfügt über einen integrierten megasonischen Tank, eine chemikalienbeständige Bettwäsche, einen deionisierten Wassertank (DI) und eine chemikalienbeständige Belüftungsausrüstung. Die hochpräzisen Bewegungen der Düse und des Sensors werden durch Linearmotoren ermöglicht, die einen genauen und wiederholbaren Betrieb über mehrere Chargen ermöglichen. Das System ist mit einem PDV-3000 RIST-Regler ausgestattet, der eine präzise Regelung von Temperatur, Druck und anderen Parametern ermöglicht. DAINIPPON FC 3000 verfügt über eine automatisierte Reinigungseinheit, die Wasch-, Trocknungs- und Polierarbeiten durchführt. Es kann auch so eingestellt werden, dass die gewünschten Chemikalien automatisch abgegeben werden. Diese Station ist kompatibel mit einer breiten Palette von Chemikalien und Resists, einschließlich der Zippy-Serie und anderen Hochleistungs-Resistmaterialien. Es bietet auch eine Vielzahl von Werkzeug- und Düsensätzen sowie Trocken-, Nass- und Tauchätzfunktionen. Erweiterte Sicherheits- und Sicherheitsfunktionen machen DAINIPPON FC3000 zu einer attraktiven Wahl für sensible Prozessumgebungen. Es wurde entwickelt, um strenge Sicherheits- und Sicherheitsprotokolle einzuhalten. Infolgedessen wurde es zertifiziert, um die strengsten UL- und CSA-Standards zu erfüllen. Darüber hinaus entspricht die Station auch den Prüfstandards MOSFET Level III und HAST, was ein Höchstmaß an Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit gewährleistet. Zusätzlich zu den oben genannten Funktionen ist DAINIPPON FC-3000 in eine Drag-and-Drop-Auftragsplanungsmaschine integriert, die es den Bedienern ermöglicht, die verfügbare Zeit effizient zu nutzen. Dies macht die Plattform ideal für Anwendungen mit hohem Durchsatz in stark frequentierten Fabs. FC-3000 Nassstation ist so konzipiert, dass sie ein Höchstmaß an Automatisierung und Steuerung für komplexe Lithographieverfahren bietet. Es bietet eine präzise Steuerung der Parameter, einschließlich Temperatur, Druck und Chemikaliendispersion. Das automatisierte Reinigungswerkzeug, erweiterte Sicherheitsfunktionen und benutzerfreundliche Arbeitsplatzplanungsfunktionen machen DNS/DAINIPPON FC 3000 zu einer führenden Wahl für hoch anspruchsvolle Halbleiterherstellungsanwendungen.