Gebraucht DNS / DAINIPPON FS-820L #293597789 zu verkaufen
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ID: 293597789
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Wet station, 8"
A / Box
Main body
Front loader
S/D
ONB1
PCVB1
PCB1
PCB2
CSB1
H202
SUB-CSB
H2S04/H202
Power cabinet
Aspirator
PRETECH PT-08M Finesonic generator
DI Water heater
ULTAS PT Generator 06BSV
Robot loading
Dyal megasonic bath
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON FS-820L ist eine Nassstation für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, die eine präzise Reinigung und Spülung ermöglicht. Diese Nassstation eignet sich sowohl für die Solo- als auch für die Chargenproduktion. DNS FS-820L bietet präzises Waschen für seine breite Palette von Materialien wie Silizium-Wafer, Band, Folien und Glas. Es ist mit acht Tanks ausgestattet, die die gleichzeitige Handhabung verschiedener Reinigungsschritte in einer Station ermöglichen. DAINIPPON FS-820L ist so konzipiert, dass es benutzerfreundlich ist mit Funktionen wie einfach zu bedienendem Bedienfeld, stufenlos einstellbarer Tanktemperatur und Echtzeit-Datenüberwachung. Es ist mit einem Reinigungsmonitor ausgestattet, der den automatisierten Betrieb und die präzise Steuerung des Reinigungsprozesses unterstützt. Mit Hilfe des Monitorsystems kann überprüft werden, ob der Reinigungsvorgang effektiv abgeschlossen ist oder nicht. FS-820L verwendet Durchflussregel- und Konzentrationskontrollsysteme, die durch Optimierung der Verdünnung von Reinigungslösungen eine gleichbleibende Ausrüstung gewährleisten können. Es verfügt auch über eine Wasserverbrauchsüberwachungseinheit, mit der Benutzer den Wasserverbrauch minimieren können, indem sie für jeden Prozess eine geeignete Wasserflussrate einstellen. Die Spülzeit von DNS/DAINIPPON FS-820L ist von 0,5 bis 99 Sekunden einstellbar. Es bietet auch eine breite Palette von Temperatureinstellungen von Umgebungs- bis 99℃, um alle Anforderungen der Prozesssteuerung zu erfüllen. Um die Verwechslung von Materialien zu verhindern, haben alle Tanks eine Easy Identification Machine (EIS) installiert. Mit diesem Werkzeug kann jeder Tank zur einfachen Identifizierung mit einer Tank-ID vorbelegt werden. DNS FS-820L bietet auch eine leistungsstarke Luft- und Flüssigkeitsventilsteuerung, die eine präzise Dosierung von Flüssigkeiten, Belüftung und Entfernung von Blasen unterstützt. Es enthält auch einen Plattformmonitor, der die Position des Bearbeitungsobjekts in der Station, Echtzeit erfasst und auch Temperatur, Durchfluss und Verdünnung aufzeichnet. Um die Sicherheit zu gewährleisten, ist DAINIPPON FS-820L mit einem fortschrittlichen Überwachungsmodell ausgestattet, das Sauberkeit und Stabilität der Ausrüstung gewährleistet. Es umfasst auch eine Säure-Gegenmaßnahme, die ein automatisches pH-Einstellsystem, einen Säure-Nester und eine Entlüftungseinheit umfasst, so dass die Sicherheit des Benutzers gewährleistet ist. Abschließend ist FS-820L ein Halbleiterbauelement, das Nassstation herstellt, mit nützlichen Funktionen wie Easy Identification Machine, Durchflussregelung, Konzentrationsregelung und leistungsstarker Luft- und Flüssigkeitskontrolle. Seine einstellbare Tanktemperatur und Timeout-Einstellungen machen es sowohl für die Solo- als auch für die Chargenproduktion geeignet. Sein fortschrittliches Überwachungswerkzeug sorgt für Sicherheit und Sauberkeit und ist somit ideal für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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