Gebraucht DNS / DAINIPPON MP-3000 #9095610 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON MP-3000 ist eine Nassstation, die für die Bearbeitung von Halbleiterscheiben auf der Bank entwickelt wurde. Es wird verwendet, um das Wafersubstrat mit einer integrierten Prozesskammer unter einer Stickstoffumgebung zu reinigen oder zu trocknen. Die nasse Station verfügt über eine einzigartige automatische programmierbare Prozesssteuerung, die bis zu 15 Zyklus und 50 Programmrezepte speichern kann. So können DNS- MP-3000 schnell und effizient Standard- oder prozessspezifische Zyklusrezepte entwickeln und wiederholen. Seine sauerstoffarme Umgebung sorgt für Low-Profile-Düsen-Befestigungsprozesse, während sein einstellbarer Temperaturbereich von -55 ° C bis 200 ° C für optimale Ätzraten sorgt, ohne thermisches Verbiegen oder thermisches Auslaufen zu verursachen. DAINIPPON MP3000 ist mit drei unabhängigen Spülstationen und zwei Kavitationssystemen ausgestattet, die eine konsistente Reinigung von Wafern ermöglichen. Die Spülstationen können für jede einzelne Spülung auf eine feste Wiederholspülzeit oder eine unabhängige Zwischenstufe eingestellt werden. Die Kavitationssysteme erzeugen molekulare Blaseninteraktionen, die organische Rückstände schnell und effizient aufbrechen. Der Zyklusprozess beinhaltet eine Vakuumkammer zum Trocknen des Substrats nach dem nassen Chem-Prozess, die eine schnelle und effiziente Zykluskonsistenz ermöglicht. MP3000 verfügt auch über manuelle und automatisierte Deckel öffnen/schließen Funktionen und integrierte Leak Gauge Control hohe Prozessqualität zu halten. Der Ablaufüberlaufschutz verhindert Wasseraustritt, während das rückführende Filtersystem eine kostengünstige Prozesssteuerung über eine breite Palette von Reinigungsmitteln ermöglicht. Das integrierte Wafer-Bugkorrektursystem liefert überlegene Substratebene ohne längliche Prozesszeiten. Die nasse Station verfügt über intuitive benutzerfreundliche Touchscreen-Bedienelemente, die Rezept-Setup und Bedienung einfach und effizient machen. DNS/DAINIPPON MP3000 verfügt über ein integriertes PC-System mit einer großen Speicherkapazität zur Speicherung von bis zu 2.000 Rezepturen und 200 Sätzen Produktions-/Ertragsdaten. Es verfügt auch über integrierte Kommunikationsoptionen für leistungsstarke Datenverwaltungsfunktionen. Sein umfassendes Design sorgt für überlegene Wafer Oberflächenreinheit und Gleichmäßigkeit, optimierte Substrat Ebenheit und überlegene Zykluskonsistenz.