Gebraucht DNS / DAINIPPON / SCREEN WS-820L #9389670 zu verkaufen
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ID: 9389670
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Wet station, 8"
PLC Damaged
Acid tank
Controller
QUARTZ
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON/SCREEN WS-820L Wet Station ist eine multifunktionale, hochpräzise automatisierte Nassprozessbox, die in der Halbleiterphotolithographie und anderen Prozessen eingesetzt wird. Diese Ausrüstung wurde entwickelt, um Halbleiterscheiben durch eine Reihe von verschiedenen chemischen Behandlungen mit präziser Genauigkeit zu verarbeiten. Es besteht aus einer Hauptschrank-Einheit und vier Befestigungsoption Schränke. Der Hauptschrank enthält zwölf unabhängige chemische Behälter/Prozesssysteme, die jeweils mit einem Kassettensystem oder einer integrierten chemischen Versorgungseinheit konfiguriert sind. Diese Verfahren können Naßätzen, Aschen und Reinigen umfassen. Darüber hinaus umfasst die Maschine ein chemisches Rückgewinnungswerkzeug, eine Einheit zur Lagerung und Verwaltung von chemischem Schlamm sowie eine eingebaute Steuereinrichtung und ein Touch-Panel-Display. DNS WS-820L bietet auch eine breite Palette von Funktionen, um eine effiziente und genaue Bedienung zu gewährleisten. Es hat die Kapazität, bis zu achtzehn 300 mm Wafer gleichzeitig zu verarbeiten und kann eine Vielzahl von Chemikalien bis zu einem Liter in der Menge aufnehmen. Es hat einen Alarm, der vor möglichen Leckagen warnt und eine Vielzahl von Schutzmodi bietet, um eine chemische Exposition bei einer Verschüttung zu verhindern. Darüber hinaus ermöglicht das Touch-Panel-Display eine einfache Bedienung und Visualisierung. Seine Sicherheitsmerkmale umfassen Verriegelungen und Sensoren, die ein versehentliches Öffnen des Chemikalienbehälterdeckels und des Deckels des Prozessbades verhindern. SCREEN WS-820L verfügt auch über mehrere Kontrollfunktionen, die Genauigkeit und Stabilität gewährleisten. Es bietet analoge und digitale Ein- und Ausgänge für den Anschluss an IC-Tester, Datensammler und andere Geräte. Es hat auch die Fähigkeit, bis zu dreißig gleichzeitige Prozesse mit benutzerdefinierten Rezepten zu unterstützen. Darüber hinaus kann es an andere Kameras und Bildanalysesysteme angeschlossen werden. Insgesamt ist WS-820L Wet Station eine hochpräzise automatisierte Wet-Process-Box, die entwickelt wurde, um Halbleiterscheiben durch Ätz-, Asche- und Reinigungsprozesse effizient und präzise zu verarbeiten. Es verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, darunter ein Reclaim-Modell, ein Steuergerät und ein Touch-Panel-Display sowie Sicherheitsfunktionen. Darüber hinaus bietet es analoge und digitale Eingänge, Ausgänge und die Möglichkeit, dreißig gleichzeitige Prozesse mit benutzerdefinierten Rezepten zu unterstützen.
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