Gebraucht DNS / DAINIPPON SU-3000 #9210948 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON SU-3000 Nassstation ist ein umfassendes Lithographiewerkzeug, das genaue, hochauflösende Ergebnisse in einer Vielzahl von Photolithographie- und Submikron-Prozessen liefert. Das Gerät verfügt über eine hochmoderne nasse Bühne und Optik, die erweiterte Optionen für Maskenausrichtung, Musterung und Bearbeitung enthält. Das System nutzt ein einzigartiges Rapid-Reflow-Verfahren, um die Resistschicht auf dem Wafer schnell zu beschichten und zu entwickeln, wodurch es optimal für Anwendungen wie Maskenherstellung und Photomaskeninspektion sowie traditionelle optische Lithographie geeignet ist. DNS SU-3000 bietet eine robuste, stabile Plattform für alle Arten von Lithographie-Prozessen mit einer hochgenauen und einstellbaren Scanstufe, XY-Stufe und fortschrittlichen optischen und bildgebenden Systemen. Die Nassstufe ist für einen hohen Durchsatz ausgelegt, mit einem einfachen, ergonomischen Betrieb und geringem Aufwand. Der Scankopf ist mit einem verstellbaren Scanner ausgestattet, der eine automatische Musterausrichtung und einen schnellen, genauen Shift-Scan bietet. Die Optik- und Bildgebungssysteme bieten eine Reihe automatisierter Ausrichtungsmodi und Bearbeitungswerkzeuge wie Musterüberlagerung, Sub-Cell-Debugging und musterbasierte Registrierung. Darüber hinaus bietet das Gerät erweiterte Funktionen zur Ausrichtung von Wafern und zur Formerkennung durch seine fortschrittliche Bildverarbeitungsmaschine. Es kann für eine Vielzahl unterschiedlicher Prozessanforderungen konfiguriert werden, einschließlich Dielektrikum, Polysiliziumätzen und anderen gewünschten Prozessen, je nach den Anforderungen der Anwendung. Das Tool ist mit Echtzeit-Feedback vollständig automatisiert, was ein schnelles und effizientes Drehen der Resist-Schicht ermöglicht und die Genauigkeit und den Durchsatz des Prozesses verbessert. Die Anlage ist in der Lage, Fotomasken, Retikel und andere Widerstandsschichten von hoher Qualität und Detail zu produzieren. Dadurch eignet es sich gut für hochauflösende und komplexe Merkmale. Darüber hinaus verfügt es über Prozesssteuerungsfunktionen, einschließlich vollständiger Parameterabstimmung, einer intuitiven Benutzeroberfläche und einem dedizierten Datenprotokollierungs- und Berichtsgenerierungsmodell. Diese Funktionen helfen, den Prozess zu rationalisieren und zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. DAINIPPON SU 3000 Nassstation ist die ideale Lösung für Mikrolithographie-Anforderungen, liefert konsistente Ergebnisse und zuverlässige Leistung. Diese umfassende Ausstattung kombiniert modernste Prozessautomatisierungs- und Bildgebungstechnologien und ist somit eine ausgezeichnete Wahl für jeden Lithographie- oder Ätzprozess.