Gebraucht DNS / DAINIPPON SU-3000 #9221903 zu verkaufen

DNS / DAINIPPON SU-3000
ID: 9221903
Wafer scrubber.
DNS/DAINIPPON SU-3000 ist eine Nassstation zum Waschen von Substraten wie Trägern, Wafern und Kiyo, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Die Station ist eine vollautomatische Ausrüstung, die in der Lage ist, den Betrieb mit minimaler Bedienerfreundlichkeit abzuschließen. Das System besteht aus einem Tankraum, der aus einem Tank, einem Auslassschacht, einem Blasenentferner, Flüssigkeitsstandsreglern und einem Überlaufalarm besteht. Der Tankraum dient als Umgebung zur Bearbeitung der Wafer in der Umwälzeinheit. Der Umwälzteil der Station besteht aus einer Umwälzpumpe, Druck- und Durchflussmessern, beheizten Kreisläufen und einer Titankammer, in der das Substrat untergebracht ist. Die Kammer ist temperaturgeregelt und ermöglicht eine präzise Regelung von Temperatur, Druck und Durchfluss. Die Zirkulation des Wafers wird über einen Druck/Durchflussmesser auf optimale Ergebnisse überwacht. Die Kombination von Kammer- und Umlaufmaschine sorgt dafür, dass alle auf dem Wafer vorhandenen Verunreinigungen entfernt werden können. Darüber hinaus verfügt die Station über einen automatischen Selbstreinigungszyklus sowie einen Reinigungszyklus, der manuell aktiviert werden kann. Die Station wird durch einen intuitiven Touchscreen gesteuert, der dem Bediener die Möglichkeit gibt, Zykluseinstellungen anzupassen, die Werkzeugleistung zu überwachen und die Produktionsstatistiken zu verfolgen. Die Station ist in der Lage, bis zu 50 Rezepte zu speichern, was eine effiziente Verarbeitung mehrerer Substrate ermöglicht. Die Station ist mit Blick auf die Sicherheit ausgelegt, mit einem Not-Aus-Knopf und einer Sicherheitsabdeckung, die aktiviert, wenn die Abdeckung während des Betriebs geöffnet wird. Die Station läuft auf einer einphasigen, 300VAC Stromversorgung und einem Standard 16A einphasigen Steckdosen. DNS SU-3000 ist in der Lage, eine Vielzahl von verschiedenen Substraten zu handhaben, so dass es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen. Es ist ein zuverlässiges, einfach zu bedienendes Asset, das präzise, wiederholbare Ergebnisse mit minimalem Aufwand liefert.
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