Gebraucht DNS / DAINIPPON SU-3100 #293757950 zu verkaufen
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ID: 293757950
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Wafer cleaning system, 12"
Process: DNS-SU3100-8ch_BEOL_SWC (DHF 800:1 Process)
Index Robot
Shuttle Robot
Center Robot
(4) Front Opening Unified Pods (FOUP)
2008 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100 Nassstation ist eine umfassende Nassstation für Anwendungen in der Halbleiterverarbeitung, Photolithographie und elektronischen Schaltungsherstellung. Es ist ein hoch fortgeschrittenes Modell der Nassstation, entworfen, um überlegene Ebenen der Präzision, Genauigkeit und Effizienz während der Herstellung und Reinigungsprozesse zu bieten. DNS SU-3100 Nassstation besteht aus einer Basiseinheit und einer Reihe von modularen Add-ons, die zur Unterstützung von Nassverarbeitungsanwendungen entwickelt wurden. Die Basiseinheit besteht aus einem Multifunktionsmodul, einem Bedienpult und einem Magnetbandlaufwerk. Das Multifunktionsmodul stellt die Hauptschnittstelle zwischen der Nassstation und dem Endverbraucher bereit und kann mit einem Sprühbehälter, einem Chemiebad und einem chemischen Rezirkulationssystem konfiguriert werden. Die Steuerkonsole wird verwendet, um den Betrieb der nassen Station zu steuern, so dass der Benutzer Betriebsparameter wie Temperatur, Druck und Durchfluss auswählen und einstellen kann. Das Magnetbandlaufwerk wird verwendet, um der nassen Station zu ermöglichen, Programme zu speichern und zurückzurufen, wodurch die Notwendigkeit einer ständigen Umprogrammierung entfällt. Die modularen Add-ons, die für DAINIPPON SU 3100 wet station verfügbar sind, können verwendet werden, um die Station an die spezifischen Bedürfnisse des Endbenutzers anzupassen. Gemeinsame Add-ons umfassen ein automatisiertes chemisches Abgabesystem, chemische Badvorwärmer und einen automatisierten Wafer-Taumelmechanismus. Das automatisierte Chemikalienliefersystem ermöglicht es dem Anwender, Chemikalien schnell und einfach zu be- und entladen, ohne manuell eingreifen zu müssen. Die chemischen Badvorwärmer können verwendet werden, um die Temperatur von chemischen Bädern und Rezirkulationssystemen auf einem gleichbleibenden Niveau zu halten und eine optimale Leistung zu gewährleisten. Schließlich automatisiert der automatisierte Wafer-Taumelmechanismus den Vorgang des Umklappens von Wafern im Bad, um sicherzustellen, dass alle Seiten eines Wafers den Chemikalien ausgesetzt sind. DNS SU 3100 Nassstation ist für den Einsatz in Anwendungen konzipiert, in denen Präzision und Genauigkeit von größter Bedeutung sind. Diese Nassstation ist sehr zuverlässig und dauerhaft ausfallfrei zu bedienen und soll Kunden jahrelangen zuverlässigen Service bieten. Mit ihrem modularen Aufbau und zahlreichen Add-ons kann diese Nassstation individuell auf die Bedürfnisse einer Vielzahl von Anwendern zugeschnitten werden.
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