Gebraucht DNS / DAINIPPON SU-3100 #9099733 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9099733
Weinlese: 2007
Wet station, 12"
25 Wafer FOUP
LED Lamp
Spin dry with N2
DSP/LAL15+ozone rinse
Loadport & FA communication
4 Ports
FOUP Transfer system
FOUP Opener
Opener twice operation
Place pin: 4 Pins (Cu exclusive / Mix / Non Cu divided)
Foup Wafer slip sensing
Wafer counting & mapping system
(8) Chambers
Wafer transfer system
Notch align system (Loader only)
Ionizer (Alarm function)
Spin unit
Chemical supply unit
Wafer process flow
Spin unit:
Chemical chamber 1~8 (DSP/LAL15/O3)
N2 Dispenser
NANO Spray dispenser
Antistatic finish (Static electricity) wafer ground
Spin chuck material by chemicals
Wafer chucking edge grip : ≤2 mm
FDC Compatible
Spin speed range: 100 ~ 3000 RPM ± 10 RPM
Wafer protection function
Separate drain port
Chemical return to chemical tank required, Control by recipe
Directed chemical rinse drain required, control by recipe
Spin chucking sensor
SPIN ( increase and decrease) speed required, Control by recipe
Chemical attack free spin base inside
Wafer & Cup level hard interlock required up/down position hard sensor
Chemical chamber 1~8 (DSP / LAL15 / O3 / DIW)
Front / Back control
Front & back all applications
Suck back function
Process chemical: DSP/LAL15+Ozone rinse
Dispenser (Individual install)
Dispenser 1: DSP (H2SO4+H2O2+HF+DIW)
Dispenser 2: LAL15
Dispenser 3: Ozone + DIW
Dispenser 4: N2
Dispenser 5: Nano spray
Chemical flow rate: 0.5 ~ 3.0 LPM± 0.1LPM
DIW Flow rate range: 0.5 ~ 3.0 LPM± 0.1LPM
Ozone rinse
DIW Rinse after chemical process times
Wafer cleaning and rinsing required
Wafer front and backside
2007 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100 ist eine Nassstation, die für die Verbesserung und Verbesserung von Halbleiterchip-Herstellungsprozessen konzipiert ist. Es ist eine computergesteuerte Ausrüstung, die für das chemisch-mechanische Polieren (CMP), die chemisch-mechanische Planarisierung (CMP) und die chemische Nassverarbeitung von Wafern und Chips verwendet wird. Das System ist in der Lage, die nasschemische Verarbeitung hocheffizient und automatisiert mit minimalem menschlichen Eingriff durchzuführen. Die Einheit verfügt über ein modernes Wafer-Förderband und eine große Kammer mit mehreren seitlich gelagerten Roboterarmen. Die Roboterarme dienen zur präzisen Steuerung der chemischen Naßverarbeitung und Planarisierung sowie zur Bewegung der Halbleiterscheiben und -chips. Die Hauptkammer der Maschine ist mit mehreren Sensoren ausgestattet, darunter Temperatur, Feuchtigkeit und Drucksensoren. Die Kammer ist außerdem mit mehreren chemischen Kontrollstationen und einem computergesteuerten Abgabewerkzeug ausgestattet, das während des Nassvorgangs die korrekten Mengen an Flüssigkeiten und Lösungsmitteln präzise steuern und abgeben kann. Neben automatisierten Prozessen verfügt DNS SU-3100 auch über eine integrierte Mess- und Analyseeinrichtung, die die Auswertung und Überwachung der Wafer- und Chip-Performance ermöglicht. Dieses Modell umfasst ein integriertes Mikroskop, optische Arrayer und eine integrierte Software, die die erfassten Daten analysieren und ein genaues Diagramm der Wafer- und Chip-Leistung erzeugen kann. Die Nassstation umfasst auch eine digitale Abbildungseinrichtung, die Bilder von Wafer- und Chipoberflächen zur weiteren Analyse aufnehmen kann. Dieses System ist hochgenau und kann die Oberflächenrauhigkeit von Thewafern und Chips messen. Schließlich umfasst das Gerät eine fortschrittliche Prozesssteuerungsmaschine und ein integriertes Datenlogging-Tool, das die Daten speichern und die Daten zur Berichterstattung und weiteren Untersuchung verarbeiten kann. Abschließend ist DAINIPPON SU 3100 eine hochentwickelte Nassstation, die eine Präzisionskontrolle in Naßchemie- und Planarisierungsprozessen bietet. Das integrierte Mess- und Analysegerät und das digitale Bildgebungsmodell bieten genaue Leistungsdaten und Bildaufnahmefunktionen, während die integrierte Prozesskontrollausrüstung und das Datenlogging-System dem Anwender eine umfassende Plattform zum Verstehen und Analysieren der Daten zur weiteren Optimierung bieten.
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