Gebraucht DNS / DAINIPPON SU-3100 #9099733 zu verkaufen

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ID: 9099733
Weinlese: 2007
Wet station, 12" 25 Wafer FOUP LED Lamp Spin dry with N2 DSP/LAL15+ozone rinse Loadport & FA communication 4 Ports FOUP Transfer system FOUP Opener Opener twice operation Place pin: 4 Pins (Cu exclusive / Mix / Non Cu divided) Foup Wafer slip sensing Wafer counting & mapping system (8) Chambers Wafer transfer system Notch align system (Loader only) Ionizer (Alarm function) Spin unit Chemical supply unit Wafer process flow Spin unit: Chemical chamber 1~8 (DSP/LAL15/O3) N2 Dispenser NANO Spray dispenser Antistatic finish (Static electricity) wafer ground Spin chuck material by chemicals Wafer chucking edge grip : ≤2 mm FDC Compatible Spin speed range: 100 ~ 3000 RPM ± 10 RPM Wafer protection function Separate drain port Chemical return to chemical tank required, Control by recipe Directed chemical rinse drain required, control by recipe Spin chucking sensor SPIN ( increase and decrease) speed required, Control by recipe Chemical attack free spin base inside Wafer & Cup level hard interlock required up/down position hard sensor Chemical chamber 1~8 (DSP / LAL15 / O3 / DIW) Front / Back control Front & back all applications Suck back function Process chemical: DSP/LAL15+Ozone rinse Dispenser (Individual install) Dispenser 1: DSP (H2SO4+H2O2+HF+DIW) Dispenser 2: LAL15 Dispenser 3: Ozone + DIW Dispenser 4: N2 Dispenser 5: Nano spray Chemical flow rate: 0.5 ~ 3.0 LPM± 0.1LPM DIW Flow rate range: 0.5 ~ 3.0 LPM± 0.1LPM Ozone rinse DIW Rinse after chemical process times Wafer cleaning and rinsing required Wafer front and backside 2007 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3100 ist eine Nassstation, die für die Verbesserung und Verbesserung von Halbleiterchip-Herstellungsprozessen konzipiert ist. Es ist eine computergesteuerte Ausrüstung, die für das chemisch-mechanische Polieren (CMP), die chemisch-mechanische Planarisierung (CMP) und die chemische Nassverarbeitung von Wafern und Chips verwendet wird. Das System ist in der Lage, die nasschemische Verarbeitung hocheffizient und automatisiert mit minimalem menschlichen Eingriff durchzuführen. Die Einheit verfügt über ein modernes Wafer-Förderband und eine große Kammer mit mehreren seitlich gelagerten Roboterarmen. Die Roboterarme dienen zur präzisen Steuerung der chemischen Naßverarbeitung und Planarisierung sowie zur Bewegung der Halbleiterscheiben und -chips. Die Hauptkammer der Maschine ist mit mehreren Sensoren ausgestattet, darunter Temperatur, Feuchtigkeit und Drucksensoren. Die Kammer ist außerdem mit mehreren chemischen Kontrollstationen und einem computergesteuerten Abgabewerkzeug ausgestattet, das während des Nassvorgangs die korrekten Mengen an Flüssigkeiten und Lösungsmitteln präzise steuern und abgeben kann. Neben automatisierten Prozessen verfügt DNS SU-3100 auch über eine integrierte Mess- und Analyseeinrichtung, die die Auswertung und Überwachung der Wafer- und Chip-Performance ermöglicht. Dieses Modell umfasst ein integriertes Mikroskop, optische Arrayer und eine integrierte Software, die die erfassten Daten analysieren und ein genaues Diagramm der Wafer- und Chip-Leistung erzeugen kann. Die Nassstation umfasst auch eine digitale Abbildungseinrichtung, die Bilder von Wafer- und Chipoberflächen zur weiteren Analyse aufnehmen kann. Dieses System ist hochgenau und kann die Oberflächenrauhigkeit von Thewafern und Chips messen. Schließlich umfasst das Gerät eine fortschrittliche Prozesssteuerungsmaschine und ein integriertes Datenlogging-Tool, das die Daten speichern und die Daten zur Berichterstattung und weiteren Untersuchung verarbeiten kann. Abschließend ist DAINIPPON SU 3100 eine hochentwickelte Nassstation, die eine Präzisionskontrolle in Naßchemie- und Planarisierungsprozessen bietet. Das integrierte Mess- und Analysegerät und das digitale Bildgebungsmodell bieten genaue Leistungsdaten und Bildaufnahmefunktionen, während die integrierte Prozesskontrollausrüstung und das Datenlogging-System dem Anwender eine umfassende Plattform zum Verstehen und Analysieren der Daten zur weiteren Optimierung bieten.
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