Gebraucht DNS / DAINIPPON SU-3200 #293596498 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293596498
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Wafer cleaning system, 12"
(12) Chambers
(2) Ozone
CIM: SECS / GEMS
Process: SOM / SPM / SC1 / SC2 / O3W / DHF
KAWASAKI Handler
Factory interface: (4) FOUP
2012 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3200 ist eine Nassverarbeitungsstation, die entwickelt wurde, um eine Vielzahl von Nassverarbeitungsschritten durchzuführen, einschließlich Galvanisieren, Photolithographie, Ätzen und Vorbereitungsschritte. Zu den Hauptkomponenten der Station gehören ein Tauchbecken, ein Verdichtungsbehälter, ein Vakuumtank, ein Anodenfach und eine Ätzkammer. Diese Station eignet sich für die Durchführung mehrerer Anwendungen in einem einzigen Prozessoraufbau. Der Tauchbecken auf DNS SU-3200 zeichnet sich durch seine kontinuierliche Zuführfähigkeit und kontrollierte Rührung aus. Der Tank ist für schnelles Auflösen, Aktivieren und Reinigen von Teilen ausgelegt. Es verfügt über einstellbare Drehzahlrührer und hat einen Temperaturbereich von 20-60 ° C. Es enthält auch einen beheizten überlaufenden Tank, der den Elektrolytspiegel über dem Produktniveau hält. Mit dem Verdichtungsbehälter wird das Produkt während der Bearbeitung gehalten. Es ist so ausgelegt, dass es beim Galvanisieren Druck auf das Produkt ausübt und auch als Reservoir für die Elektrolytlösung wirkt. Es hat einstellbare Höhenröcke und einen Temperaturregelbereich von 40-60 ° C. Der Vakuumtank wird verwendet, um ein Vakuum innerhalb des Tanks zu erzeugen. Dies ist wichtig bei der Durchführung der Photolithographie, da das Vakuum hilft, eine gleichmäßige Filmbeschichtung zu gewährleisten. Der Tank ist mit einem Evakuierungsloch, Einlass- und Auslassöffnungen ausgestattet und hat einen Temperaturbereich von 40-60 ° C. Das Anodenfach ist die Kammer, in der die Teile plattiert sind. Es enthält ein Heizelement zur Erhöhung der Temperatur und einen einstellbaren Baffler zur Optimierung der Stromdichte. Es weist elektrische Anschlüsse für einen rechnergesteuerten Beschichtungsprozess auf. Schließlich dient die Ätzkammer zum Naßätzen. Es ist mit einer großen Öffnung ausgestattet, wo die Lösung übertragen wird, sowie eine unabhängige Temperaturregelung und Vakuumregelung. Die Kammer hat einstellbare Leitbleche, die helfen, die Stromdichte zu steuern. Insgesamt ist DAINIPPON SU 3200 eine zuverlässige Nassstation für eine Vielzahl von Nassverarbeitungsanwendungen. Die Mehrfachbehälter und -kammern machen sie zu einer vielseitigen Nassstation zur Durchführung mehrerer Anwendungen. Seine einstellbare Temperaturregelung und Rührfähigkeit helfen, hochpräzise Ergebnisse zu gewährleisten.
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