Gebraucht DNS / DAINIPPON SU-3200 #293617642 zu verkaufen
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ID: 293617642
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
Wafer cleaning system, 12"
Process : Spray clean
Chemical: SC1 / DHF / H2SO4 / O3
(12) Chambers
Factory interface: (4) FOUP
KAWASAKI High speeds IR / CR handler
2014 vintage.
DNS/DAINIPPON SU-3200 Nassstation ist eine hochentwickelte Nassverarbeitungsanlage, die von DNS entwickelt wurde, um eine höhere Präzisionsleistung zu erzielen. Es ist eine Nassstation, die für verschiedene Nassverarbeitungsvorgänge wie Ätzen, Reinigen, Beschichten und Trocknen verwendet wird. DNS SU-3200 verfügt über eine breite Palette von hochentwickelten Nassverarbeitungsmodulen, die erweiterte Verarbeitungsfunktionen bieten, einschließlich eines Halbleiterätztanks, einer Doppelkammer-CPT-Beschichtungsausrüstung, fortschrittlichen Reinigungs- und Trocknungskomponenten und einem Photoresist-Entwicklungs-/Streifensystem. Es entspricht den Anforderungen der Internationalen Elektrotechnischen Kommission (IEC) und erreicht eine bessere Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Produktionsleistung. DAINIPPON SU 3200 ist eine hochautomatisierte Nassstation, die viele Nassverarbeitungsbedingungen automatisiert, um gleichbleibende Qualitätsergebnisse zu gewährleisten. Beispielsweise enthält die Ätzeinheit eine Vielzahl intelligenter Parameter, mit denen verschiedene Ätzlösungen basierend auf den Anforderungen jedes Projekts festgelegt werden können. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Werkzeugüberwachungsmaschine zur kontinuierlichen Überwachung und Anzeige von Daten wie Leitungs-/Lastschwankungen und Luftfeuchtigkeit. DNS SU 3200 ist mit einem Wasseraufbereitungs- und Rückführungswerkzeug ausgestattet, das die Ätztemperatur kontrollieren und kontaminationsfreie Lösungen gewährleisten kann. Es ist auch für die Sicherheit mit Sicherheitsverriegelungen und Alarmen konzipiert und bietet Schutz vor chemischer Porosität und Spritzen. Darüber hinaus ermöglicht es unabhängige Nassverarbeitungs- und Trocknungsbedingungen für eine effizientere Verarbeitung. SU 3200 ist kompakt und bietet Flexibilität in der Installation und im Betrieb und verfügt über eine einfach zu bedienende Benutzeroberfläche, die einen nahtlosen Betrieb von nassen Prozessen ermöglicht. Weitere Funktionen sind ein Traceability-Asset, ein anpassbares Ausgabedatenformat und eine Ferndiagnose. SU-3200 Nassstation ist eine ideale Lösung für Halbleiter-Nassverarbeitungsanwendungen, bei denen Präzision, Genauigkeit, Sicherheit und Wiederholbarkeit unerlässlich sind. Es bietet eine umfassende Palette von Funktionen und ein hohes Maß an Automatisierung, so dass Benutzer ihre Produktionsanforderungen schnell und effizient mit sehr zuverlässigen und wiederholbaren Ergebnissen erfüllen können.
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