Gebraucht DNS / DAINIPPON WS-820C #9152514 zu verkaufen
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ID: 9152514
Weinlese: 1995
Wet station
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CHCL Shower N2 blow
DHF
Q Etch
EDR
IPA Dryer
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1995 vintage.
DNS/DAINIPPON WS-820C Nassstation ist ein wesentliches Stück Nassbankausrüstung, das für die Fertigstellung einer hochwertigen Waferbearbeitung benötigt wird. Es ist eine vollautomatische, ein- oder zweistufige, präzisionsgesteuerte Nassverarbeitungsanlage, die mit dem Ziel entwickelt wurde, maximale Effizienz, minimale Interaktion mit dem Bediener und wiederholbare, hochgenaue Ergebnisse zu erzielen. Die Hardwarekonfiguration umfasst einen legierten Stepper, doppelseitig motorisierte Plattformen, zwei Verteiler- und Nassprozesstanks, einen rückseitig deionisierten (DI) Spülbehälter und ein integriertes Fördersystem zur Handhabung mehrerer Wafer pro Prozesszyklus. Das Gerät ist entwickelt, um überlegene Temperatur und chemische Lösungen Stabilität zu liefern, sowie eine ausgezeichnete Maschinensteuerung. Es verfügt über programmierbare Wafer-Indexierung und verschachtelte Wafer-Handhabung, mit synchrone Low-Flow und Hochdruck-Betrieb, ein Positionierer für Wafer und Träger Handhabung, Tintenstrahl-Wafer Identifizierung und ein voll digitales Werkzeug zur Steuerung von Daten, einschließlich manuelle und automatische Modi. Die doppelseitige Plattform mit integrierten Förderern für die Verarbeitung mehrerer Wafer arbeitet mit großen Prozess- und Spültanks zusammen und bietet lineare Bewegungsfunktionen, die eine hohe Präzisionsbewegung und Wiederholbarkeit ermöglichen. Darüber hinaus umfasst die Anlage einen DI-Tank, der den Rückseitendruck des Wafers nutzt, um zu verhindern, dass der Wafer an der Oberfläche des Tanks haftet und auch manuelle Operationen ermöglicht. Der integrierte Bordcomputer bietet die volle Kontrolle des Modells mit Prozessrezepten, die volle Rückverfolgbarkeit und eine bessere Kontrolle über die Prozessparameter sowie Fehlererkennung, Not-Aus, Durchfluss- und Drucküberwachung und Rückgewinnungsfähigkeit ermöglichen. Die Mis-Ereignisverhinderungs- und Verfolgensysteme zeigen auch volle Gültigkeitserklärungsfähigkeiten. DNS WS-820C ist voll kompatibel mit den weltweit beliebtesten Software-Suiten wie STATS, CALC und MPS usw. und ermöglicht die Rezeptvorbereitung und -implementierung. Die vollständige Rezeptbibliothek für manuellen und automatischen Betrieb bietet Zeit für Zeit Möglichkeiten für reproduzierbare Ergebnisse. Die Nassstation ist in drei verschiedenen Modellen DAINIPPON WS820C, WS-820CR und WS-820W erhältlich - die auch über eine Reihe von Konfigurationen und Zugriffsstufen verfügen, die auf spezifische Anwendungen und Anforderungen zugeschnitten sind. DNS/DAINIPPON WS820C Modell ist speziell für die Waferreinigung konzipiert, während der RJSTX-200 Stand ideal für Waferbelichtungsprozesse ist. Das WS-820W Paket umfasst eine integrierte Wafer-Spannausrüstung, einen Gasschrank, eine Zusatzsteuerung und eine Vielzahl von pneumatischen Steuergeräten.
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