Gebraucht DNS / DAINIPPON WS-820C #9364372 zu verkaufen

ID: 9364372
Wet station Process: Oxide etcher.
DNS/DAINIPPON WS-820C Nassstation ist eine fortschrittliche Eintank-Nassverarbeitungsanlage, die speziell für die effiziente und kostengünstige Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen (ICs) entwickelt wurde. Dieses System eignet sich für eine Vielzahl von nassen Prozessschritten, einschließlich Ätzen, Reinigen, Sprays, Abscheiden usw. Die Station besteht aus einem Hauptbahnsteig, einer Kammer, einem Hauptschrank und einem Bedienpult. Die Hauptplattform ist der Hauptverarbeitungsbereich und kann eine Vielzahl von Prozessmodulen aufnehmen, die basierend auf verschiedenen Prozessanforderungen angepasst werden können. Das Kammergehäuse beherbergt den chemischen Prozess wie Ätzen und Abscheiden, die über das benutzerfreundliche Touchscreen-Bedienpult überwacht und gesteuert werden. Im Hauptschrank befinden sich die wichtigsten Workflow-Komponenten wie ein softwaregesteuerter chemischer Durchflussadapter, eine Trockenluftpumpe und eine chemische Heizung. Der Schaltschrank ist mit einer fortschrittlichen digitalen Temperatur- und Drucküberwachungseinheit ausgestattet, die die erforderlichen Parameter für den chemischen Prozess regeln kann. Darüber hinaus wird eine elektrochemische Impedanzspektroskopie (EIS) -Überwachungsmaschine verwendet, um die Stabilität und Genauigkeit des Ätzprozesses zu gewährleisten. Der Schaltschrank enthält auch eine Reihe von Pumpen, um schnell Chemikalien an die Heizung für eine präzise Temperaturregelung und Reaktant Nachschub liefern. Das Tool enthält auch eine erweiterte Bildanalysesoftware, mit der die zu bearbeitenden Teile überprüft werden können. DNS WS-820C Nassstation ist in der Lage, mit verschiedenen Arten von nassen Chemikalien zu arbeiten, einschließlich Ammoniumhydroxid, Natriumhydroxid, Salzsäure, Chromsäure, Schwefelsäure, Salpetersäure und anderen sauren Lösungen. Die Komponenten der Station sind korrosionsbeständig und jahrelang auf optimale Leistung ausgelegt. Die geringen Wartungskosten und die hohe Effizienz der Station machen sie zu einer idealen Wahl für Arbeitsplätze mit begrenzten Budgets und Prozessanforderungen.
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